公开(公告)号：CN107289878B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201710232726.1

申请日：2017-04-11

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 木村友纪 ,  有田祐介 ,  池野田稔 ,  东山明弘 ,  北山大介

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明提供检查精度得到提高的透明板表面检查装置。该装置是检查透明板的主表面的透明板表面检查装置，其具备包含条纹图案的光源、设置于来自所述光源的光在所述主表面反射处的线传感器摄像机、对拍摄的所述条纹图案的图像进行图像处理的图像处理装置，所述线传感器摄像机具有包含在规定方向上排列的多个像素的拍摄元件、使所述条纹图案在所述拍摄元件上成像的透镜，所述光源及所述拍摄元件两者均配置在所述主表面的一侧且各自朝向所述主表面斜向相对，配置于所述规定方向的一端的所述像素在所述主表面的拍摄点的面积(S1)、与配置于所述规定方向的另一端的所述像素在所述主表面的拍摄点的面积(S2(S2>S1))之比(S1/S2)在0.20以上。

公开(公告)号：CN105008854B

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201480009296.1

申请日：2014-02-12

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 木村友纪 ,  金子静则 ,  有田祐介

IPC: G01B11/30 ,  G01B11/24 ,  G01N21/896

Abstract: 提供一种透明板状体表面检查用摄像系统，线路传感器相机的光线路径中心存在的平面与透明板状体垂直且该平面与透明板状体的搬运方向既未平行也未垂直的情况下，利用表侧的面的反射光的路径与背侧的面的反射光的路径取决于板厚而分离的现象，并能够抑制用于在透明板状体的背侧设置水层的机构的个数的增加。光源(1)在玻璃板(71)未产生变形这样的条件下，配置在从线路传感器相机(2)朝向视野(5)的光线路径由玻璃板(71)反射的延长方向上。光源(1)的条纹图案的照射面的朝向以该照射面沿着玻璃板(71)的行进方向投影的结果成为线段的方式确定。而且，在该照射面上成为条纹图案的暗部的线与玻璃板(71)的搬运方向平行。