公开(公告)号：CN110249268A

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201880010063.1

申请日：2018-01-08

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·J·乌尔班奇克 ,  H·范德拉恩 ,  阿尔伯托·达 ,  科斯特 ,  阿萨法劳 ,  曾倩虹 ,  杰伊·健辉·陈 ,  G·格热拉

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/47 ,  H01L21/66 ,  G01N21/956

Abstract: 公开了一种过程监测方法和一种关联的量测设备。该方法包括：将与实际目标(1000)的测量响应有关的测量到的目标响应光谱序列数据(1010)和与如所设计的目标的测量响应有关的等效参考目标响应序列数据(1030)进行比较(1020)；以及基于所述测量到的目标响应序列数据与参考目标响应序列数据的所述比较来执行(1040)过程监测动作。该方法还可以包括根据测量到的目标响应光谱序列数据和参考目标响应光谱序列数据来确定(1050)叠层参数。