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公开(公告)号：CN114080536A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202080049670.6
申请日：2020-07-07
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 公开了一种方法，该方法包括：测量从量测目标反射的辐射，以及将经测量的辐射以分量进行分解，例如傅里叶分量或空间分量。此外，公开一种方案选择方法，其提供一种用于基于基于单分量的经测量的辐射的重新计算的相关性来选择量测设备的参数的算法。
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