公开(公告)号：CN104823112B

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201380059143.3

申请日：2013-09-10

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·科克 ,  R·J·沃格德

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G01B11/0675 ,  G01B11/14 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70525 ,  G03F9/7046 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7092

Abstract: 一种用于测量物理量的传感器系统，系统包括具有多个检测器以允许在不同空间位置处并行测量的并行检测设置，其中多个检测器共享噪声源，其中配置传感器系统以使得多个检测器每个输出作为物理量的函数的信号，以及其中配置传感器系统以使得至少一个检测器与一个或多个其他检测器相比不同地响应于源自共享噪声源的噪声。

公开(公告)号：CN104823112A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201380059143.3

申请日：2013-09-10

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·科克 ,  R·J·沃格德

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G01B11/0675 ,  G01B11/14 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70525 ,  G03F9/7046 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7092

Abstract: 一种用于测量物理量的传感器系统，系统包括具有多个检测器以允许在不同空间位置处并行测量的并行检测设置，其中多个检测器共享噪声源，其中配置传感器系统以使得多个检测器每个输出作为物理量的函数的信号，以及其中配置传感器系统以使得至少一个检测器与一个或多个其他检测器相比不同地响应于源自共享噪声源的噪声。