公开(公告)号：CN113874789B

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202080038409.6

申请日：2020-05-05

Applicant: ASML控股股份有限公司 ,  ASML荷兰有限公司

Inventor： M·利普森 ,  S·阿坎塔 ,  B·D·道森 ,  M·A·索纳 ,  I·西格尔 ,  T·尤特迪杰克

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/687

Abstract: 一种用于支撑衬底的衬底台，包括表面以及粗突节。粗突节中的每个粗突节包括突节顶部表面以及细突节。粗突节被设置在衬底台的表面上，细突节被设置在突节顶部表面上。当衬底台支撑衬底时，细突节与衬底接触。

公开(公告)号：CN114080566A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202080049944.1

申请日：2020-06-05

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·A·范德凯克霍夫 ,  S·阿坎塔 ,  J·H·J·穆尔斯 ,  V·Y·巴宁 ,  S·M·J·詹森斯 ,  A·尼基佩洛维

IPC: G03F1/82 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  H01L21/687

Abstract: 一种光刻设备包括：用于支撑衬底的夹持表面，其中夹持表面的属性由至少一个夹持表面参数限定，并且其中夹持表面的属性已被选择为表现出低磨损；夹持设备，用于致动夹持表面与衬底之间的夹持操作，其中夹持操作至少部分地由夹持表面与衬底之间的至少一个界面特性限定；以及处理站，能够操作以根据夹持表面参数和限定衬底的第二属性的至少一个衬底表面参数，对衬底的第一属性施加调整，来优化特定夹持操作的至少一个界面特性。

公开(公告)号：CN119165742A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202411530737.4

申请日：2020-05-05

Applicant: ASML控股股份有限公司 ,  ASML荷兰有限公司

Inventor： M·利普森 ,  S·阿坎塔 ,  B·D·道森 ,  M·A·索纳 ,  I·西格尔 ,  T·尤特迪杰克

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/687

Abstract: 一种用于支撑衬底的衬底台，包括表面以及粗突节。粗突节中的每个粗突节包括突节顶部表面以及细突节。粗突节被设置在衬底台的表面上，细突节被设置在突节顶部表面上。当衬底台支撑衬底时，细突节与衬底接触。

公开(公告)号：CN113874789A

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202080038409.6

申请日：2020-05-05

Applicant: ASML控股股份有限公司 ,  ASML荷兰有限公司

Inventor： M·利普森 ,  S·阿坎塔 ,  B·D·道森 ,  M·A·索纳 ,  I·西格尔 ,  T·尤特迪杰克

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/687

Abstract: 一种用于支撑衬底的衬底台，包括表面以及粗突节。粗突节中的每个粗突节包括突节顶部表面以及细突节。粗突节被设置在衬底台的表面上，细突节被设置在突节顶部表面上。当衬底台支撑衬底时，细突节与衬底接触。