公开(公告)号：CN107238608A

公开(公告)日：2017-10-10

申请号：CN201611151839.0

申请日：2016-12-13

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 梅村信行 ,  加藤章 ,  大山刚 ,  坂井田宪彦

IPC: G01N21/956

Abstract: 本发明提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化的基板检查装置。基板检查装置(1)具有用于进行印刷基板(P1)的上表面侧的检查的上表面检查单元(3)、以及用于进行印刷基板(P1)的下表面侧的检查的下表面检查单元(4)。各检查单元(3、4)具有分别对印刷基板(P1)照射条纹图案的检查照明(3A、4A)等、以及拍摄印刷基板(P1)的检查相机(3C、4C)。并且，交替性进行由上表面检查单元(3)进行的印刷基板(P1)的上表面侧的检查处理、以及由下表面检查单元(4)进行的印刷基板(P1)的下表面侧的检查处理。

公开(公告)号：CN107238608B

公开(公告)日：2020-01-03

申请号：CN201611151839.0

申请日：2016-12-13

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 梅村信行 ,  加藤章 ,  大山刚 ,  坂井田宪彦

IPC: G01N21/956

Abstract: 本发明提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化的基板检查装置。基板检查装置(1)具有用于进行印刷基板(P1)的上表面侧的检查的上表面检查单元(3)、以及用于进行印刷基板(P1)的下表面侧的检查的下表面检查单元(4)。各检查单元(3、4)具有分别对印刷基板(P1)照射条纹图案的检查照明(3A、4A)等、以及拍摄印刷基板(P1)的检查相机(3C、4C)。并且，交替性进行由上表面检查单元(3)进行的印刷基板(P1)的上表面侧的检查处理、以及由下表面检查单元(4)进行的印刷基板(P1)的下表面侧的检查处理。

公开(公告)号：CN107219237B

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201611151722.2

申请日：2016-12-13

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 梅村信行 ,  加藤章 ,  大山刚 ,  坂井田宪彦

IPC: G01N21/956 ,  G01N21/01 ,  G01B11/25

Abstract: 本发明提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化的基板检查装置。基板检查装置(1)具有用于进行印刷基板(P1)的上表面侧的检查的上表面检查单元(3)、以及用于进行印刷基板(P1)的下表面侧的检查的下表面检查单元(4)。各检查单元(3、4)具有分别对印刷基板(P1)照射条纹图案的检查照明(3A、4A)等、以及拍摄印刷基板(P1)的检查相机(3C、4C)。并且，交替性进行由上表面检查单元(3)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理、以及由下表面检查单元(4)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理。

公开(公告)号：CN107219237A

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201611151722.2

申请日：2016-12-13

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 梅村信行 ,  加藤章 ,  大山刚 ,  坂井田宪彦

IPC: G01N21/956 ,  G01N21/01 ,  G01B11/25

Abstract: 本发明提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化的基板检查装置。基板检查装置(1)具有用于进行印刷基板(P1)的上表面侧的检查的上表面检查单元(3)、以及用于进行印刷基板(P1)的下表面侧的检查的下表面检查单元(4)。各检查单元(3、4)具有分别对印刷基板(P1)照射条纹图案的检查照明(3A、4A)等、以及拍摄印刷基板(P1)的检查相机(3C、4C)。并且，交替性进行由上表面检查单元(3)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理、以及由下表面检查单元(4)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理。