公开(公告)号：CN106090292A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610269241.5

申请日：2016-04-27

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 吉田匡辉 ,  宫下路生 ,  东尚嗣 ,  熊谷贵行

IPC: F16K7/12 ,  B29C45/14

Abstract: 提供一种即使厚度薄也可以具有连接部的隔膜。隔膜(20)包括由具有耐化学性的第一材料形成的膜部(21)以及由第二材料形成并可与其他部件连接的连接部(23)，该第二材料以与第一材料的主原料相同的原料为主原料，膜部(21)与连接部(23)直接接合。

公开(公告)号：CN118215799A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202280070153.6

申请日：2022-10-20

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 吉田匡辉 ,  西尾吉史 ,  熊谷贵行 ,  西田成伸

IPC: F16J3/02 ,  F04B43/02 ,  H01L21/027

Abstract: 一种隔膜(30)，其应用于药液控制装置且由工作气体给予加压，所述药液控制装置控制半导体制造工序中使用的药液的流通，其中所述隔膜(30)具备膜部(31)及透过抑制层(42)，所述膜部(31)由对药液具有耐性的氟树脂形成，所述透过抑制层(42)设置于膜部的由工作气体给予加压的一侧的面(31b)并且与膜部相比难以使工作气体透过。

公开(公告)号：CN106090292B

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201610269241.5

申请日：2016-04-27

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 吉田匡辉 ,  宫下路生 ,  东尚嗣 ,  熊谷贵行

IPC: F16K7/12 ,  B29C45/14

Abstract: 提供一种即使厚度薄也可以具有连接部的隔膜。隔膜(20)包括由具有耐化学性的第一材料形成的膜部(21)以及由第二材料形成并可与其他部件连接的连接部(23)，该第二材料以与第一材料的主原料相同的原料为主原料，膜部(21)与连接部(23)直接接合。