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公开(公告)号：CN118382798A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202280078098.5
申请日：2022-06-27
Applicant: CKD株式会社
IPC: G01N21/956 , H05K3/00
Abstract: 提供一种基板检查装置等，能够更准确地确定粘接剂所占的区域。通过拍摄基板中的至少涂布有粘接剂的区域来得到拍摄图像。然后，确定拍摄图像中的粘接剂的中央部区域，并且通过与中央部区域的确定方法不同的确定方法，确定拍摄图像中的、位于中央部区域的周围的所述粘接剂的边缘部区域。在此基础上，分别基于被确定的中央部区域和边缘部区域，确定粘接剂的整体区域(Ajs)。通过不同的确定方法分别确定光学特性的不同的中央部区域以及边缘部区域定单元，两者被高精度地确定，进而能更准确地确定粘接剂所占的区域(整体区域Ajs)。其结果是，粘接剂的合格与否的判定涉及的精度变得更好。
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