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公开(公告)号:CN118202420A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202380014276.2
申请日:2023-06-08
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 改善热固性环氧树脂组合物的搜索技术。一种热固性环氧树脂组合物的搜索方法,由信息处理装置执行,所述热固性环氧树脂组合物的搜索方法包括以下步骤:使用与热固性环氧树脂组合物有关的实际数据来训练与多个目标变量分别对应的多个预测模型;以及通过使用所述多个预测模型的逆向解析来搜索具有期望的物性平衡的热固性环氧树脂组合物,其中,所述实际数据包括热固性环氧树脂组合物的配混原料、配混比率、与所述配混原料有关的聚合物组分以及与所述配混原料有关的结构式,所述目标变量包括拉伸强度、断裂韧性以及玻璃化转变温度。
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公开(公告)号:CN113227181B
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN201980086276.7
申请日:2019-11-26
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 本发明的目的在于,提供具有高耐热性且可用于使用电子射线和极紫外线的光刻的抗蚀剂组合物。具体而言,使用包含酚醛清漆型酚醛树脂(C)的金属盐的抗蚀剂组合物,所述酚醛清漆型酚醛树脂(C)以下述式(1)所示的芳香族化合物(A)和脂肪族醛(B)作为必需的反应原料。(下述式(1)中,R1和R2各自独立地表示氢原子、碳原子数1~9的脂肪族烃基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子。m和n各自独立地表示0~4的整数。存在多个R1时,多个R1任选彼此相同或不同。存在多个R2时,多个R2任选彼此相同或不同。R3表示氢原子、碳原子数1~9的脂肪族烃基、或者在烃基上具有1个以上选自烷氧基、卤素基团和羟基中的取代基的结构部位。)
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公开(公告)号:CN109790263B
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN201780061603.4
申请日:2017-09-21
Applicant: DIC株式会社
IPC: C08G8/30
Abstract: 本发明的目的在于,提供不仅耐热性、碱显影性优异、而且厚膜形成时的耐裂纹性也优异的含酚羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀剂材料,提供一种含酚羟基树脂,其特征在于,具有下述结构式(1)或(2)[式中R2、R3各自独立地为脂肪族烃基、含芳香环的烃基、烷氧基、卤原子中的任意者。]所示的结构部位(α)和下述结构式(3)(式中R4为氢原子或碳原子数1~7的脂肪族烃基。R5为氢原子或碳原子数8~24的脂肪族烃基。)所示的结构部位(β)作为重复单元,存在于树脂中的R2、R3、R5中的至少一者为碳原子数8~24的脂肪族烃基。
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公开(公告)号:CN107108418B
公开(公告)日:2021-04-27
申请号:CN201580073573.X
申请日:2015-11-19
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 本发明提供溶剂溶解性优异且可得到能够获得耐热解性、碱显影性、分辨率及耐干蚀刻性优异的涂膜的组合物的含酚性羟基化合物。具体而言,提供下述结构式(1)(式中A为包含如下结构的结构单元:在芳香环上可以具有烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、或卤素原子作为取代基,且源自二羟基萘或萘酚的结构;和氢原子之一可以为烷基或芳基的亚甲基)所示的含酚性羟基化合物,其为组合使用二羟基萘和萘酚而得到的总重复数p为2~10的整数的杯芳烃化合物。
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公开(公告)号:CN108368214B
公开(公告)日:2021-03-23
申请号:CN201680071738.4
申请日:2016-11-17
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物及抗蚀膜。一种酚醛清漆型树脂,其特征在于,具有下述结构式(1)或(2)[式中,Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子中的任意者,m各自独立地为1~3的整数。X为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。]所示的结构部位作为重复单元,树脂中存在的X中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。
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公开(公告)号:CN107003612B
公开(公告)日:2020-11-06
申请号:CN201580065831.X
申请日:2015-11-10
Applicant: DIC株式会社
Inventor: 今田知之
IPC: G03F7/11 , C07C39/16 , C08G8/00 , H01L21/027
Abstract: 提供干式蚀刻耐受性及耐热性优异、碱溶解性的控制容易的抗蚀剂下层膜形成用感光性组合物、及抗蚀剂下层膜。具体而言,提供一种抗蚀剂下层膜形成用感光性组合物,其含有:使选自由下述通式(1)所示的化合物及下述通式(2)所示的化合物组成的组中的1种以上酚系三核体化合物(A)与醛类(B)在酸催化剂下进行反应而得到的酚醛清漆型酚醛树脂。[式中,R1、R2及R3各自独立地表示任选具有取代基的碳原子数1~8的烷基,R4表示氢原子、任选具有取代基的烷基或任选具有取代基的芳基,p及q各自独立地为1~4的整数,r为0~4的整数,s为1或2。其中,r与s的和为5以下。]
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公开(公告)号:CN109790263A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201780061603.4
申请日:2017-09-21
Applicant: DIC株式会社
IPC: C08G8/30
CPC classification number: C09B69/103 , C08G8/20 , C08G8/30 , C08L61/14 , C09B11/06
Abstract: 本发明的目的在于,提供不仅耐热性、碱显影性优异、而且厚膜形成时的耐裂纹性也优异的含酚羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀剂材料,提供一种含酚羟基树脂,其特征在于,具有下述结构式(1)或(2)[式中R2、R3各自独立地为脂肪族烃基、含芳香环的烃基、烷氧基、卤原子中的任意者。]所示的结构部位(α)和下述结构式(3)(式中R4为氢原子或碳原子数1~7的脂肪族烃基。R5为氢原子或碳原子数8~24的脂肪族烃基。)所示的结构部位(β)作为重复单元,存在于树脂中的R2、R3、R5中的至少一者为碳原子数8~24的脂肪族烃基。
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公开(公告)号:CN107001550B
公开(公告)日:2019-04-02
申请号:CN201580064208.2
申请日:2015-10-08
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 提供耐热性优异、且对g射线、h射线及i射线的曝光波长的吸光度低、高灵敏度的感光性组合物、抗蚀材料、其涂膜、及适合于这些用途的酚醛清漆型酚醛树脂及其制造方法。具体而言,提供一种酚醛清漆型酚醛树脂,其特征在于,其是使酚系三核体化合物(A)与甲醛在酸催化剂下进行反应而得到的,所述酚系三核体化合物(A)包含通过二烷基取代苯酚与含羟基芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A1)、以及通过在2,3位、2,5位、3,4位、或3,5位的位置具有烷基的二烷基取代苯酚与不具有羟基的芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A2),并且前述酚系三核体化合物(A1)与前述酚系三核体化合物(A2)的摩尔比为20:80~90:10。
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公开(公告)号:CN106458812B
公开(公告)日:2019-03-26
申请号:CN201580026371.X
申请日:2015-04-16
Applicant: DIC株式会社
Inventor: 今田知之
Abstract: 本发明的目的在于提供,光灵敏度及耐热性优异的含改性酚羟基化合物、含有该化合物的感光性组合物、包含该感光性组合物的保护材料、及由该保护材料形成的涂膜,提供包含下述通式(1)所示分子结构(其中,不包括下述通式(2)所示的分子结构)的含改性酚羟基化合物。[式中,R1表示叔烷基、烷氧基烷基、芳氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、含杂原子环状脂肪族烃基或三烷基甲硅烷基,R2表示氢原子、烷基、烷氧基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的芳烷基或卤素原子,R3表示可以具有取代基的烷基或可以具有取代基的芳基]
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