含酚性羟基化合物、包含其的组合物及其固化膜

    公开(公告)号:CN107108418B

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN201580073573.X

    申请日:2015-11-19

    Abstract: 本发明提供溶剂溶解性优异且可得到能够获得耐热解性、碱显影性、分辨率及耐干蚀刻性优异的涂膜的组合物的含酚性羟基化合物。具体而言,提供下述结构式(1)(式中A为包含如下结构的结构单元:在芳香环上可以具有烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、或卤素原子作为取代基,且源自二羟基萘或萘酚的结构;和氢原子之一可以为烷基或芳基的亚甲基)所示的含酚性羟基化合物,其为组合使用二羟基萘和萘酚而得到的总重复数p为2~10的整数的杯芳烃化合物。

    含酚羟基树脂及抗蚀剂材料

    公开(公告)号:CN109790264A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201780060031.8

    申请日:2017-09-21

    CPC classification number: C07D251/34 C08G8/36 C08G65/34 G03F7/032

    Abstract: 本发明目的在于,提供流动性优异、固化物的耐热性及耐干蚀刻性高的含酚羟基树脂、含有其的固化性组合物、及抗蚀剂材料,提供如下的含酚羟基树脂,其为下述结构式(1)(式中X表示碳原子数1~14的烃基。R1各自独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者。m为0、1或2,n为0或1~4的整数。)所示的双萘酚化合物(a1)与氰脲酰卤(a2)的反应产物,且多分散系数(Mw/Mn)为1.01~1.30的范围。

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