杯芳烃化合物、固化性组合物及固化物

    公开(公告)号:CN111108089B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN201880051207.8

    申请日:2018-07-19

    Abstract: 提供杯芳烃化合物、包含其的固化性组合物及其固化物,所述杯芳烃化合物为下述式(1)所示的化合物,且1分子中含有至少一个‑CH2OH或酚羟基、且具有至少一个碳间不饱和键。[R1为具有‑CH2OH的结构部位(A)、具有碳间不饱和键的结构部位(B)、具有‑CH2OH和碳间不饱和键的结构部位(C)、除前述(A)、(B)、(C)以外的一价有机基团(D)或氢原子(E),R2为(A)、(B)、(C)、(D)、或(E)(其中,不包括R2全部为(E)的情况),R3为氢原子、脂肪族烃基、芳基中的任意者,n为2~10。*为与芳香环的键合点]。

    抗蚀剂材料
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110959138B

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN201880048675.X

    申请日:2018-07-03

    Abstract: 本发明目的在于,提供涂膜的平滑性、均质性高、分辨率等图案化性能也优异的抗蚀剂材料,提供一种抗蚀剂材料,其含有:具有下述结构式(1)所示的分子结构的杯芳烃化合物(A)、和树脂成分(B)。(式中,R1为全氟烷基或具有全氟烷基的结构部位。R2为氢原子、极性基团、聚合性基团、具有极性基团或聚合性基团的结构部位。R3为氢原子、任选具有取代基的脂肪族烃基、任选具有取代基的芳基中的任意者。n为2~10的整数。*为与芳香环的键合点。)

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