公开(公告)号：CN109243953A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201810744936.3

申请日：2018-07-09

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： C.J.扎赫雷森 ,  D.蒂默曼 ,  M.托思 ,  J.费列维奇 ,  S.兰多尔夫 ,  A.P.J.M.博特曼

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/28 ,  G02B26/10 ,  G02B27/0916 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/228 ,  H01J37/265 ,  H01J37/226 ,  H01J37/3056

Abstract: 公开了一种用于观测和对准带电粒子束（CPB）系统（诸如电子显微镜或聚焦粒子束系统）的样本腔室中的光束的方法和系统。该方法包括在样本腔室内部提供具有校准表面的成像辅助设备，该校准表面被配置成使得当利用光照亮，并且同时被CPB照亮时，在也被光照亮的区中通过CPB引起的二次辐射的强度相对于具有较低光照明水平的区中通过CPB引起的二次辐射的强度是不同的，由此在校准表面上提供光束的图像。该光束的图像可以被用来使光束与带电粒子束对准。

公开(公告)号：CN109243953B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201810744936.3

申请日：2018-07-09

Applicant: FEI 公司

Inventor： C.J.扎赫雷森 ,  D.蒂默曼 ,  M.托思 ,  J.费列维奇 ,  S.兰多尔夫 ,  A.P.J.M.博特曼

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/305

Abstract: 公开了一种用于观测和对准带电粒子束（CPB）系统（诸如电子显微镜或聚焦粒子束系统）的样本腔室中的光束的方法和系统。该方法包括在样本腔室内部提供具有校准表面的成像辅助设备，该校准表面被配置成使得当利用光照亮，并且同时被CPB照亮时，在也被光照亮的区中通过CPB引起的二次辐射的强度相对于具有较低光照明水平的区中通过CPB引起的二次辐射的强度是不同的，由此在校准表面上提供光束的图像。该光束的图像可以被用来使光束与带电粒子束对准。