公开(公告)号：CN109243953A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201810744936.3

申请日：2018-07-09

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： C.J.扎赫雷森 ,  D.蒂默曼 ,  M.托思 ,  J.费列维奇 ,  S.兰多尔夫 ,  A.P.J.M.博特曼

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/28 ,  G02B26/10 ,  G02B27/0916 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/228 ,  H01J37/265 ,  H01J37/226 ,  H01J37/3056

Abstract: 公开了一种用于观测和对准带电粒子束（CPB）系统（诸如电子显微镜或聚焦粒子束系统）的样本腔室中的光束的方法和系统。该方法包括在样本腔室内部提供具有校准表面的成像辅助设备，该校准表面被配置成使得当利用光照亮，并且同时被CPB照亮时，在也被光照亮的区中通过CPB引起的二次辐射的强度相对于具有较低光照明水平的区中通过CPB引起的二次辐射的强度是不同的，由此在校准表面上提供光束的图像。该光束的图像可以被用来使光束与带电粒子束对准。

公开(公告)号：CN102334180B

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：CN200980157578.5

申请日：2009-10-26

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 彼德·L·凯勒曼 ,  史费特那·瑞都凡诺 ,  法兰克·辛克莱 ,  维克多·M·本夫尼斯特

IPC: H01L21/265

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3171

Abstract: 一种独立控制离子束的偏移、减速与聚焦的技术。在一特定的例示性实施例中，所述技术可实现为一独立控制离子束的偏移、减速与聚焦的装置。此装置可包括一电极结构，此电极结构包括位于离子束上方的一组上电极与位于离子束下方的一组下电极。此组上电极与此组下电极是以对称于离子束的中央射线轨迹而定位。此组上电极与此组下电极之间的电位差亦可随着离子束的中央射线轨迹而改变，藉以反映中央射线轨迹上每一点的离子束能量，以独立地控制离子束偏移、减速与聚焦。

公开(公告)号：CN1589490A

公开(公告)日：2005-03-02

申请号：CN02822954.1

申请日：2002-10-04

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： 艾舍·珀尔

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/304 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221

Abstract: 本发明提供了一种方法，用于自动对准带电颗粒束与孔。从而引入散焦并基于图象移动计算的信号施加到偏转单元。进而提供了用于散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于产生的一组帧估计清晰度。

公开(公告)号：CN104520963B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380041036.8

申请日：2013-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/10 ,  H01J37/1413 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/16 ,  H01J37/222 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/305 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明提供一种扫描式电子显微镜。在具备电子束柱的扫描式电子显微镜中，由可拆装的部件构成电子束柱的物镜的前端，能够装配不同的材质的物镜的前端。

公开(公告)号：CN104520963A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201380041036.8

申请日：2013-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/10 ,  H01J37/1413 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/16 ,  H01J37/222 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/305 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明提供在具备两个以上的带电粒子线柱的复合带电粒子线装置中能够以将试样放置于交叉点的位置的状态进行高分辨率观察的复合带电粒子线装置。本发明具有以下构成，具备多个带电粒子线柱(101a、102a)的复合带电粒子线装置，其特征在于，在上述多个柱的光轴交叉的交点(171)的位置配置试样(103)，形成上述带电粒子线柱(102a)的物镜的前端的部件(408a、408b)能够拆装，通过更换上述部件(408a、408b)，能够改变上述交点(171)与上述带电粒子线柱前端的距离。

公开(公告)号：CN104509219A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201280073629.8

申请日：2012-05-31

Applicant: 西门子公司

Inventor： P·S·阿普塔克 ,  P·比斯利 ,  O·海德

IPC: H05H7/18 ,  H05H7/22

CPC classification number: H01J37/1471 ,  A61N5/1077 ,  H05H7/18 ,  H05H7/22 ,  H05H2007/025

Abstract: 在用于对带电粒子束分包的方法中，粒子穿越一个装置中的电场。该装置具有环形中心电极，所述环形中心电极在辐射方向上布置在第一外电极与第二外电极之间。中心电极被施加时变的电压信号，所述电压信号的时间变化过程被选择为，使得位于所述装置内部的粒子经历与位置相关的速度变化，其中所述速度变化的变化过程在辐射方向上接近于锯齿形。

公开(公告)号：CN101553897B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200780035716.3

申请日：2007-09-13

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 波·凡德尔贝格 ,  派崔克·史皮林特尔

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/04 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0475 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/31703

Abstract: 一种离子注入系统(410)的平行化部件(439)包括两个成角度的双极磁铁(439a、439b)，其彼此成镜像且用于弯曲横越其中的离子束(424)，以具有大致“s”形状。这种s弯曲用于从束中滤除杂质，同时所述双极平行化所述束以帮助在晶片(430)上有均匀的注入性能，例如注入角度。另外，在注入系统的末端处还包含减速级(457)，使得束的能量可在整个束线中均保持非常高，以减轻束扩散。

公开(公告)号：CN100341106C

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN02822954.1

申请日：2002-10-04

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： 艾舍·珀尔

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/304 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221

Abstract: 本发明提供了一种方法，用于自动对准带电颗粒束与孔。从而引入散焦并基于图象移动计算的信号施加到偏转单元。进而提供了用于散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于产生的一组帧估计清晰度。

公开(公告)号：CN108028160A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680052353.3

申请日：2016-08-25

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 詹姆士·S·贝福 ,  维克多·本夫尼斯特 ,  法兰克·辛克莱

IPC: H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1475 ,  H01J37/14 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/1415 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/31701

Abstract: 一种方法可包括：从离子源产生离子束，离子束具有初始传递方向；以相对于初始传递方向的初始倾斜角度偏转离子束；使离子束穿过在磁性组件中的孔；以及在孔中产生下述：沿着与离子束的初始传递方向垂直的第一方向延伸的四极场以及沿着与第一方向和初始传递方向垂直的第二方向延伸的偶极场。

公开(公告)号：CN105023821B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201510148556.X

申请日：2015-03-31

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 椛泽光昭 ,  石川雅基 ,  上野勇介

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/141 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明提供一种可减小向被处理物进行注入时的注入角度误差的离子注入装置及离子注入方法。离子注入装置(100)的射束线部具备转向电磁铁(30)、射束扫描器(34)及射束平行化器(36)。射束线部包含离子束的基准轨道，z方向表示沿基准轨道的方向，x方向表示与z方向正交的一个方向。转向电磁铁使离子束向x方向偏转。射束扫描器通过使离子束向x方向往复偏转，来扫描离子束。射束平行化器具备平行化透镜，该平行化透镜构成为使经扫描的离子束与z方向平行，平行化透镜在射束扫描器的扫描原点处具有焦点。控制部对转向电磁铁中x方向的偏转角度进行补正，以使偏转的离子束的实际轨道在xz面上于扫描原点处与基准轨道相交。