公开(公告)号：CN102651295B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201210049064.1

申请日：2012-02-20

Applicant: FEI公司

Inventor： 刘坤 ,  G·A·施温

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J23/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J2237/022

Abstract: 公开一种用于诸如透射电子显微镜(TEM)、扫描透射电子显微镜(STEM)或扫描电子显微镜(SEM)之类的聚焦电子束系统的冷场发射(CFE)电子源。源采用CFE尖头后面的发射器包围电极，它与抽取器电极结合来定义封闭体积，该体积能够通过电子碰撞解吸(EID)以及来自定位在发射器包围电极与抽取器电极之间的被加热灯丝的辐射加热来彻底清洁。抽取器电极可具有沉孔，沉孔限制在抽取器所生成的后向散射电子到达源和枪的尚未通过EID清洁的部分。在冷场发射之前的发射器包围电极和抽取器电极的预先清洁实质改进源发射稳定性和频率噪声特性，从而实现对TEM、STEM和SEM的应用是充分的时间间隔的源操作。

公开(公告)号：CN102651295A

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201210049064.1

申请日：2012-02-20

Applicant: FEI公司

Inventor： K·刘 ,  G·A·施温

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J23/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J2237/022

Abstract: 公开一种用于诸如透射电子显微镜(TEM)、扫描透射电子显微镜(STEM)或扫描电子显微镜(SEM)之类的聚焦电子束系统的冷场发射(CFE)电子源。源采用CFE尖头后面的发射器包围电极，它与抽取器电极结合来定义封闭体积，该体积能够通过电子碰撞解吸(EID)以及来自定位在发射器包围电极与抽取器电极之间的被加热灯丝的辐射加热来彻底清洁。抽取器电极可具有沉孔，沉孔限制在抽取器所生成的后向散射电子到达源和枪的尚未通过EID清洁的部分。在冷场发射之前的发射器包围电极和抽取器电极的预先清洁实质改进源发射稳定性和频率噪声特性，从而实现对TEM、STEM和SEM的应用是充分的时间间隔的源操作。