公开(公告)号：CN101243531A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200680029989.2

申请日：2006-08-18

Applicant: 电子线技术院株式会社

Inventor： 金浩燮

IPC: H01J37/147

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明涉及一种有效改变产生电子束的电子柱中的电子束的能量的方法。该方法包括以下步骤：向电极额外地施加电压，使得所述电子束最终具有所期望的能量，从而当所述电子束到达样本时，能够自由地控制所述能量。

公开(公告)号：CN108699691A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201680081988.6

申请日：2016-11-08

Applicant: 北美AGC平板玻璃公司 ,  旭硝子株式会社 ,  AGC玻璃欧洲公司

Inventor： J·钱伯斯 ,  P·马诗威茨

IPC: C23C16/513 ,  C23C4/134 ,  H01J37/063 ,  H05H1/02 ,  H05H1/24 ,  H05H1/54

CPC classification number: H05H1/54 ,  C23C16/513 ,  H01J27/08 ,  H01J37/063 ,  H01J37/32596 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4675

Abstract: 提供一种提取和加速离子的离子源和方法。离子源包括腔室。离子源进一步包括第一空心阴极，其具有第一空心阴极腔和第一等离子体出口孔；以及第二空心阴极，其具有第二空心阴极腔和第二等离子体出口孔。第一空心阴极和第二空心阴极邻近地设置在腔室中。离子源进一步包括第一离子加速器，其在第一等离子体出口孔与腔室之间并与第一等离子体出口孔和腔室连通。第一离子加速器形成第一离子加速腔。离子源进一步包括第二离子加速器，其在第二等离子体出口孔与腔室之间并与第二等离子体出口孔和腔室连通。第二离子加速器形成第二离子加速腔。第一空心阴极和第二空心阴极被配置为交替地充当电极和反电极以生成等离子体。

公开(公告)号：CN102484024A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080041421.9

申请日：2010-09-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 渡边将也 ,  楠本淑郎

IPC: H01J37/063 ,  C23C14/30 ,  H01J29/48 ,  H01J37/065

CPC classification number: C23C14/30 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/3132

Abstract: 本发明的电子枪的特征在于，在比阳极电极（23）靠近发射口（13）侧具备被施加了相对于阳极电极（23）为正电压的推斥电极（24），所述推斥电极（24）将通过电子束与残留气体的碰撞而产生的沿着中心轴线（28）向阴极电极（21）方向行进的正离子向真空槽（18）侧推回。由于所述推斥电极（24）是圆筒形形状，所以不使电子束的轨道弯曲。此外，由于在所述推斥电极（24）形成有许多细孔，所以推斥电极（24）内的气体通过所述细孔而被真空排气。由此，能够提供防止正离子入射到阴极电极（21）的长寿命的电子枪。

公开(公告)号：CN101593658A

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200910145359.7

申请日：2009-05-26

Applicant: FEI公司

Inventor： A·亨斯特拉

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J3/027 ,  H01J3/04 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/1534

Abstract: 本发明的名称为具有集成能量过滤器的带电粒子源，描述发生能量选择的粒子源。能量选择通过偏心地发送带电粒子束穿过透镜发生。这样做的结果是，在透镜形成的图像中将发生能量色散。通过将此图像投射到能量选择光阑中的狭缝上，可以只让有限的能量谱部分中的粒子穿过。因此，穿过的束将具有减少的能量分散。偏转单元将束偏转到光轴。也可以选择偏转经过透镜中间去向光轴并且具有如更大电流的束。能量色散点由偏转器在狭缝上成像。在狭缝上定位能量色散点时，中央束偏离轴到被能量选择光阑阻止的程度。由此避免了在光阑后的区域由此束导致的反射和污染。此外，还避免了中央束的电子与偏转器区域中的能量过滤束交互作用所导致的电子－电子相互作用。

公开(公告)号：CN106024561A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610632479.X

申请日：2016-08-04

Applicant: 桂林狮达机电技术工程有限公司

Inventor： 韦寿祺 ,  朱国坤 ,  黄小东 ,  张建飞 ,  黄兴泉 ,  覃胤鸿

IPC: H01J37/063 ,  H01J37/065

CPC classification number: H01J37/063 ,  H01J37/065

Abstract: 本发明公开一种大气电子束加工设备用电子枪，其整体呈轴对称结构，自下而上包括第一等离子体窗口、第一真空腔、聚焦装置、气动窗口、第二等离子体窗口、第二真空腔、阳极、第三真空腔和电子束发生器。本发明采用第一离子体窗口、气动窗口和第二离子体窗口相串联的组合式结构，电子枪中构成真空梯度极大的电子束飞行路径，降低电子束的能量损失和能量密度的下降，以解决电子束加工设备在大气环境中进行电子束加工存在的两大关键技术。

公开(公告)号：CN102651295B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201210049064.1

申请日：2012-02-20

Applicant: FEI公司

Inventor： 刘坤 ,  G·A·施温

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J23/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J2237/022

Abstract: 公开一种用于诸如透射电子显微镜(TEM)、扫描透射电子显微镜(STEM)或扫描电子显微镜(SEM)之类的聚焦电子束系统的冷场发射(CFE)电子源。源采用CFE尖头后面的发射器包围电极，它与抽取器电极结合来定义封闭体积，该体积能够通过电子碰撞解吸(EID)以及来自定位在发射器包围电极与抽取器电极之间的被加热灯丝的辐射加热来彻底清洁。抽取器电极可具有沉孔，沉孔限制在抽取器所生成的后向散射电子到达源和枪的尚未通过EID清洁的部分。在冷场发射之前的发射器包围电极和抽取器电极的预先清洁实质改进源发射稳定性和频率噪声特性，从而实现对TEM、STEM和SEM的应用是充分的时间间隔的源操作。

公开(公告)号：CN1759465B

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200480006424.3

申请日：2004-03-10

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： 彼得·科瑞特

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/063 ,  H01J3/02

CPC classification number: H01J3/07 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/063 ,  H01J37/12 ,  H01J37/153 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/151 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明涉及一种用于产生多个带电粒子小波束的装置，其包括一个用于产生发散带电粒子波束的带电粒子源，一个用于折射所述发散带电粒子波束的会聚装置，和一个由多个透镜构成的透镜阵列，其中所述透镜阵列位于所述带电粒子源和所述会聚装置之间。这样，有可能减小会聚装置的像差。

公开(公告)号：CN102484024B

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201080041421.9

申请日：2010-09-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 渡边将也 ,  楠本淑郎

IPC: H01J37/063 ,  C23C14/30 ,  H01J29/48 ,  H01J37/065

CPC classification number: C23C14/30 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/3132

Abstract: 本发明的电子枪的特征在于，在比阳极电极（23）靠近发射口（13）侧具备被施加了相对于阳极电极（23）为正电压的推斥电极（24），所述推斥电极（24）将通过电子束与残留气体的碰撞而产生的沿着中心轴线（28）向阴极电极（21）方向行进的正离子向真空槽（18）侧推回。由于所述推斥电极（24）是圆筒形形状，所以不使电子束的轨道弯曲。此外，由于在所述推斥电极（24）形成有许多细孔，所以推斥电极（24）内的气体通过所述细孔而被真空排气。由此，能够提供防止正离子入射到阴极电极（21）的长寿命的电子枪。

公开(公告)号：CN102651295A

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201210049064.1

申请日：2012-02-20

Applicant: FEI公司

Inventor： K·刘 ,  G·A·施温

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J23/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J2237/022

Abstract: 公开一种用于诸如透射电子显微镜(TEM)、扫描透射电子显微镜(STEM)或扫描电子显微镜(SEM)之类的聚焦电子束系统的冷场发射(CFE)电子源。源采用CFE尖头后面的发射器包围电极，它与抽取器电极结合来定义封闭体积，该体积能够通过电子碰撞解吸(EID)以及来自定位在发射器包围电极与抽取器电极之间的被加热灯丝的辐射加热来彻底清洁。抽取器电极可具有沉孔，沉孔限制在抽取器所生成的后向散射电子到达源和枪的尚未通过EID清洁的部分。在冷场发射之前的发射器包围电极和抽取器电极的预先清洁实质改进源发射稳定性和频率噪声特性，从而实现对TEM、STEM和SEM的应用是充分的时间间隔的源操作。

公开(公告)号：CN102414774A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201080018886.2

申请日：2010-04-29

Applicant: ATTI国际服务公司

Inventor： 阿尔图什·A·阿布加良 ,  伊莱·莱维

IPC: H01J29/58

CPC classification number: H01J29/62 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/18 ,  H01J35/14 ,  H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/0656 ,  H01J2237/28

Abstract: 一种系统，在静电区域中将电子束聚焦为电子层流，该电子层流具有电流密度的均匀分布和显著缩小倍率，该系统包括：本体(11)，其限定电场的边界；静电部分中的场形成阴极电极系统(1，2，3，4)、聚焦电极系统(5，6，7，12)和至少一个阳极电极系统(8，9，10)；和第二无电场部分，其包括布置在本体(11)内部的可调屏幕系统(16)。场形成近阴极电极系统(1，2，3，4)包括电连接到平面部分(2)的阴极(1)和电连接到柱形部分(4)的曲线部分(3)。阳极电极系统(8，9，10)包括开口部分、电连接到平面部分(8)的阳极、和电连接到柱形部分(10)的曲线部分(9)，其与阴极电极系统相似或相同，并且与阴极电极系统对称。根据CGMR概念方法计算和创建系统参数。