公开(公告)号：CN104821284A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201510045475.7

申请日：2015-01-29

Applicant: FEI公司

Inventor： A.巴克斯鲍姆 ,  M.施密特

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01L22/14 ,  B26D3/282 ,  B28D5/04 ,  G01N1/286 ,  G01N2001/2873 ,  G03F1/72 ,  G03F1/84 ,  G03F7/70608 ,  G03F7/7065 ,  H01L21/304 ,  Y10T156/1967

Abstract: 提供了一种方法和设备，用于在表面层剥离中使用以进行样品工件的错误隔离和缺陷局部化。更具体地，提供了一种方法和设备，用于以快速、受控和准确的方式从样品机械地剥除一个或多个层。可编程致动器包括具有切割边缘的层剥离探针尖端，该切割边缘被定形为快速和准确地从样品剥除材料层。层剥离探针尖端的切割面被配置使得每个剥除步骤剥除具有线性尺度的材料区域，该线性尺度基本上等于层剥离探针尖端切割面的线性尺度。表面层剥离可以在真空腔室内部发生以使得样品的目标区域可以在原位利用FIB/SEM成像来观测。