公开(公告)号：CN103828022A

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201280047339.6

申请日：2012-09-12

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 谷口和丈 ,  岸本秀司 ,  佐藤孝

IPC: H01L21/027 ,  B29C33/38 ,  B29C59/02 ,  B81C99/00 ,  G03F1/50 ,  G11B5/84

CPC classification number: B29C59/022 ,  B29C33/424 ,  B29C33/56 ,  B29C2033/0094 ,  B29C2059/023 ,  B29K2905/08 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C09D1/00 ,  G03F7/0002 ,  G11B5/855 ,  Y10T428/265 ,  B29C33/3878

Abstract: 在具有硬掩模层的模具坯中，所述硬掩模层具有包含铬、氮和氧的组成，并具有这样的含有率变化结构：所述氮的含有率在层厚方向上连续性地或者阶段性地变化，而且所述氧的含有率在所述层厚方向上朝与所述氮实质相反的方向连续性地或者阶段性地变化。