公开(公告)号：CN102472963A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080029743.1

申请日：2010-07-01

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 雨宫勋 ,  中塚荣 ,  谷口和丈 ,  木村生

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/11 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065

CPC classification number: G03F7/0042 ,  G03F7/2053

Abstract: 一种功能梯度型无机抗蚀剂，其具有被照射激光的主表面和与上述主表面相向的背面、通过热而变化状态；上述功能梯度型无机抗蚀剂包含单层抗蚀剂；使上述单层抗蚀剂的至少组成从上述主表面侧至上述背面侧连续地变化；上述单层抗蚀剂中，局部被照射激光时达到一定温度的区域的各向异性从上述主表面侧向上述背面侧连续地提高。

公开(公告)号：CN104203854B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201380013641.4

申请日：2013-03-13

Applicant: HOYA株式会社 ,  HOYA玻璃磁盘菲律宾公司

Inventor： 雨宫勋 ,  木村生

IPC: C03C15/00 ,  G06F3/041

CPC classification number: C03C15/00 ,  C03C21/002 ,  G06F3/041 ,  G06F2203/04103

Abstract: 本发明提供电子设备用玻璃盖片的玻璃基板的制造方法，该制造方法可以提高玻璃基板的机械强度，而不受玻璃基板的外形形状的限制。该制造方法是电子设备用玻璃盖片的玻璃基板的制造方法，所述玻璃基板具有一对主表面、包含沿着与一对主表面正交的方向配置的端面的端部和在一对主表面与所述端面之间配置的一对过渡面，该制造方法的特征在于，其包括蚀刻处理工序，所述蚀刻处理工序使蚀刻液相对于将一对保护材分别设置在一对主表面上的所述玻璃基板相对移动，按照除去可能在所述端部存在的损坏层的方式溶解所述玻璃基板的所述端部，同时在所述玻璃基板形成所述一对过渡面，所述一对保护材具有从所述玻璃基板的所述端面向所述玻璃基板的所述主表面的面方向外侧突出的突出部，并且具有抗蚀刻性。

公开(公告)号：CN104203854A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380013641.4

申请日：2013-03-13

Applicant: HOYA株式会社 ,  HOYA玻璃磁盘菲律宾公司

Inventor： 雨宫勋 ,  木村生

IPC: C03C15/00 ,  G06F3/041

CPC classification number: C03C15/00 ,  C03C21/002 ,  G06F3/041 ,  G06F2203/04103

Abstract: 本发明提供电子设备用玻璃盖片的玻璃基板的制造方法，该制造方法可以提高玻璃基板的机械强度，而不受玻璃基板的外形形状的限制。该制造方法是电子设备用玻璃盖片的玻璃基板的制造方法，所述玻璃基板具有一对主表面、包含沿着与一对主表面正交的方向配置的端面的端部和在一对主表面与所述端面之间配置的一对过渡面，该制造方法的特征在于，其包括蚀刻处理工序，所述蚀刻处理工序使蚀刻液相对于将一对保护材分别设置在一对主表面上的所述玻璃基板相对移动，按照除去可能在所述端部存在的损坏层的方式溶解所述玻璃基板的所述端部，同时在所述玻璃基板形成所述一对过渡面，所述一对保护材具有从所述玻璃基板的所述端面向所述玻璃基板的所述主表面的面方向外侧突出的突出部，并且具有抗蚀刻性。