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公开(公告)号：CN104290319A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410418299.2
申请日：2009-03-05
Applicant: IMRA美国公司
CPC classification number: B23K26/0624 , B23K26/0676 , B23K26/083 , B23K26/0869 , B23K26/21 , B23K26/324 , B23K26/359 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , B28D5/00 , B28D5/0011 , B29C65/1606 , B29C65/1612 , B29C65/1619 , B29C65/1629 , B29C65/1635 , B29C65/1638 , B29C65/1654 , B29C65/1658 , B29C65/1687 , B29C65/38 , B29C66/1122 , B29C66/43 , B29C66/71 , B29C66/73161 , B29C66/73366 , B29C66/73921 , B29C66/836 , B29C66/952 , B29K2995/0026 , B41M5/26 , B41M5/262 , B41M5/267 , C03B23/006 , C03B33/102 , C03C23/0025 , H01L21/268 , H01L21/78 , B29K2069/00
Abstract: 本发明公开了用于光学透明材料的超短脉冲激光加工的方法、设备和系统，具有划片、标记、焊接和连接的示例应用。例如，超短激光脉冲用单程激光束穿过材料形成划片结构，其中所述划片结构中的至少一个形成在材料的表面之下。稍微改变超短脉冲激光加工条件产生亚表面标记。当适当设置时，这些标记用正确对准的照明清晰可见。通过控制激光参数还可以形成反射标记。可以采用除玻璃外的透明材料。一种用于焊接透明材料的方法使用超短激光脉冲来形成通过局部加热的结合。在透明材料加工的一些实施例中，多焦点光束发生器同时形成相对于透明材料的在深度上间隔的多个光束腰，从而增大加工速度。
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公开(公告)号：CN104290319B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201410418299.2
申请日：2009-03-05
Applicant: IMRA美国公司
CPC classification number: B23K26/0624 , B23K26/0676 , B23K26/083 , B23K26/0869 , B23K26/21 , B23K26/324 , B23K26/359 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , B28D5/00 , B28D5/0011 , B29C65/1606 , B29C65/1612 , B29C65/1619 , B29C65/1629 , B29C65/1635 , B29C65/1638 , B29C65/1654 , B29C65/1658 , B29C65/1687 , B29C65/38 , B29C66/1122 , B29C66/43 , B29C66/71 , B29C66/73161 , B29C66/73366 , B29C66/73921 , B29C66/836 , B29C66/952 , B29K2995/0026 , B41M5/26 , B41M5/262 , B41M5/267 , C03B23/006 , C03B33/102 , C03C23/0025 , H01L21/268 , H01L21/78 , B29K2069/00
Abstract: 本发明公开了用于光学透明材料的超短脉冲激光加工的方法、设备和系统，具有划片、标记、焊接和连接的示例应用。例如，超短激光脉冲用单程激光束穿过材料形成划片结构，其中所述划片结构中的至少一个形成在材料的表面之下。稍微改变超短脉冲激光加工条件产生亚表面标记。当适当设置时，这些标记用正确对准的照明清晰可见。通过控制激光参数还可以形成反射标记。可以采用除玻璃外的透明材料。一种用于焊接透明材料的方法使用超短激光脉冲来形成通过局部加热的结合。在透明材料加工的一些实施例中，多焦点光束发生器同时形成相对于透明材料的在深度上间隔的多个光束腰，从而增大加工速度。
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公开(公告)号：CN102006964A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200980109436.1
申请日：2009-03-17
Applicant: IMRA美国公司
CPC classification number: H01L21/268 , B23K26/0624 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/082 , B23K26/083 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2101/40 , B23K2103/50
Abstract: 不同的实施例可用于工件的靶材料的基于激光的改性，同时有利地实现在加工处理能力和/或质量上的改进。加工方法的实施例可包括以足够高的脉冲重复率将激光脉冲聚焦和引导至工件的一区域，以便材料被有效地从所述区域去除，并且在所述区域内、接近所述区域或两者的不想要的材料量相对于以较低重复率可获得的量有减少。在至少一个实施例中，超短脉冲激光系统可包括至少一个光纤放大器或光纤激光器。不同的实施例可适用于在半导体基片上或内切片、切割、划片和形成结构。工件材料还可包括金属，无机或有机电介质，或要通过飞秒和/或皮秒脉冲并且在某些实施例中用脉冲宽度达到几纳秒的脉冲进行微加工的任何材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105583526B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201610056644.1
申请日：2009-03-17
Applicant: IMRA美国公司
Abstract: 不同的实施例可用于工件的靶材料的基于激光的改性，同时有利地实现在加工处理能力和/或质量上的改进。加工方法的实施例可包括以足够高的脉冲重复率将激光脉冲聚焦和引导至工件的一区域，以便材料被有效地从所述区域去除，并且在所述区域内、接近所述区域或两者的不想要的材料量相对于以较低重复率可获得的量有减少。在至少一个实施例中，超短脉冲激光系统可包括至少一个光纤放大器或光纤激光器。不同的实施例可适用于在半导体基片上或内切片、切割、划片和形成结构。工件材料还可包括金属，无机或有机电介质，或要通过飞秒和/或皮秒脉冲并且在某些实施例中用脉冲宽度达到几纳秒的脉冲进行微加工的任何材料。
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公开(公告)号：CN102006964B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN200980109436.1
申请日：2009-03-17
Applicant: IMRA美国公司
IPC: B23K26/064 , B23K26/38
CPC classification number: H01L21/268 , B23K26/0624 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/082 , B23K26/083 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2101/40 , B23K2103/50
Abstract: 不同的实施例可用于工件的靶材料的基于激光的改性，同时有利地实现在加工处理能力和/或质量上的改进。加工方法的实施例可包括以足够高的脉冲重复率将激光脉冲聚焦和引导至工件的一区域，以便材料被有效地从所述区域去除，并且在所述区域内、接近所述区域或两者的不想要的材料量相对于以较低重复率可获得的量有减少。在至少一个实施例中，超短脉冲激光系统可包括至少一个光纤放大器或光纤激光器。不同的实施例可适用于在半导体基片上或内切片、切割、划片和形成结构。工件材料还可包括金属，无机或有机电介质，或要通过飞秒和/或皮秒脉冲并且在某些实施例中用脉冲宽度达到几纳秒的脉冲进行微加工的任何材料。
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公开(公告)号：CN105583526A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201610056644.1
申请日：2009-03-17
Applicant: IMRA美国公司
Abstract: 不同的实施例可用于工件的靶材料的基于激光的改性，同时有利地实现在加工处理能力和/或质量上的改进。加工方法的实施例可包括以足够高的脉冲重复率将激光脉冲聚焦和引导至工件的一区域，以便材料被有效地从所述区域去除，并且在所述区域内、接近所述区域或两者的不想要的材料量相对于以较低重复率可获得的量有减少。在至少一个实施例中，超短脉冲激光系统可包括至少一个光纤放大器或光纤激光器。不同的实施例可适用于在半导体基片上或内切片、切割、划片和形成结构。工件材料还可包括金属，无机或有机电介质，或要通过飞秒和/或皮秒脉冲并且在某些实施例中用脉冲宽度达到几纳秒的脉冲进行微加工的任何材料。
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公开(公告)号：CN101965242B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN200980108013.8
申请日：2009-03-05
Applicant: IMRA美国公司
IPC: B23K26/50
CPC classification number: B23K26/0624 , B23K26/0676 , B23K26/083 , B23K26/0869 , B23K26/21 , B23K26/324 , B23K26/359 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , B28D5/00 , B28D5/0011 , B29C65/1606 , B29C65/1612 , B29C65/1619 , B29C65/1629 , B29C65/1635 , B29C65/1638 , B29C65/1654 , B29C65/1658 , B29C65/1687 , B29C65/38 , B29C66/1122 , B29C66/43 , B29C66/71 , B29C66/73161 , B29C66/73366 , B29C66/73921 , B29C66/836 , B29C66/952 , B29K2995/0026 , B41M5/26 , B41M5/262 , B41M5/267 , C03B23/006 , C03B33/102 , C03C23/0025 , H01L21/268 , H01L21/78 , B29K2069/00
Abstract: 本发明公开了用于光学透明材料的超短脉冲激光加工的方法、设备和系统，具有划片、标记、焊接和连接的示例应用。例如，超短激光脉冲用单程激光束穿过材料形成划片结构，其中所述划片结构中的至少一个形成在材料的表面之下。稍微改变超短脉冲激光加工条件产生亚表面标记。当适当设置时，这些标记用正确对准的照明清晰可见。通过控制激光参数还可以形成反射标记。可以采用除玻璃外的透明材料。一种用于焊接透明材料的方法使用超短激光脉冲来形成通过局部加热的结合。在透明材料加工的一些实施例中，多焦点光束发生器同时形成相对于透明材料的在深度上间隔的多个光束腰，从而增大加工速度。
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公开(公告)号：CN101965242A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200980108013.8
申请日：2009-03-05
Applicant: IMRA美国公司
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/0624 , B23K26/0676 , B23K26/083 , B23K26/0869 , B23K26/21 , B23K26/324 , B23K26/359 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , B28D5/00 , B28D5/0011 , B29C65/1606 , B29C65/1612 , B29C65/1619 , B29C65/1629 , B29C65/1635 , B29C65/1638 , B29C65/1654 , B29C65/1658 , B29C65/1687 , B29C65/38 , B29C66/1122 , B29C66/43 , B29C66/71 , B29C66/73161 , B29C66/73366 , B29C66/73921 , B29C66/836 , B29C66/952 , B29K2995/0026 , B41M5/26 , B41M5/262 , B41M5/267 , C03B23/006 , C03B33/102 , C03C23/0025 , H01L21/268 , H01L21/78 , B29K2069/00
Abstract: 本发明公开了用于光学透明材料的超短脉冲激光加工的方法、设备和系统，具有划片、标记、焊接和连接的示例应用。例如，超短激光脉冲用单程激光束穿过材料形成划片结构，其中所述划片结构中的至少一个形成在材料的表面之下。稍微改变超短脉冲激光加工条件产生亚表面标记。当适当设置时，这些标记用正确对准的照明清晰可见。通过控制激光参数还可以形成反射标记。可以采用除玻璃外的透明材料。一种用于焊接透明材料的方法使用超短激光脉冲来形成通过局部加热的结合。在透明材料加工的一些实施例中，多焦点光束发生器同时形成相对于透明材料的在深度上间隔的多个光束腰，从而增大加工速度。
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