含有含硅聚合物的组合物及其固化物

    公开(公告)号:CN101978008A

    公开(公告)日:2011-02-16

    申请号:CN200980109518.6

    申请日:2009-03-27

    Abstract: 本发明涉及一种组合物,其特征在于,含有(A)含硅聚合物和(B)固化剂,所述(A)含硅聚合物具有下述通式(1)表示的结构单元(A1)和下述通式(2)表示的结构单元(A2),由结构单元(A1)构成的部分与由结构单元(A2)构成的部分的重量比((A1)∶(A2))为4∶96~70∶30。所述通式(1)中,R1各自独立地表示碳原子数为1~6的1价烃基,X各自独立地表示碳原子数为1~7的2价烃基,n表示1~6的整数。所述通式(2)中,R2和R3各自独立地表示碳原子数为1~6的1价烃基,m表示正整数。通过本发明的组合物,可形成气体阻隔性、在有机基板上的密合性高、进而膜厚的固化物,该固化物能够很好地用作LED密封剂等。

    液浸式曝光系统、以及用于液浸式曝光的液体的回收方法和供给方法

    公开(公告)号:CN101128916A

    公开(公告)日:2008-02-20

    申请号:CN200680005696.0

    申请日:2006-01-20

    Abstract: 一种液浸式曝光系统(1),通过在投影光学装置(121)的光学元件和衬底(111)之间配备的液体(301)来执行曝光过程。液浸式曝光系统(1)包括供给液体(301)的液体供给部分(80)、将来自液体供给部分(80)的液体(301(301b))连续地沿特定方向导入并且在投影光学装置(121)的光学元件和衬底(111)之间的空间充满了液体(301)的状态下执行曝光过程的曝光部分、其对在关于衬底(111)对称的位置上流过曝光部分(110)的液体(301(301a))进行恢复的液体恢复部分(90)、以及回收被液体恢复部分90恢复的液体(301(301c))的液体回收部分(20)。当采用液浸法时液浸式曝光液的特性可以保持稳定,由此能够有利地并连续地实行曝光,并能降低运行成本。

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