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公开(公告)号:CN112753103A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN201980061137.9
申请日:2019-05-28
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种固体摄像元件,其具有:光电转换部,根据入射光进行光电转换;微透镜,将所述入射光聚集到所述光电转换部;以及所述微透镜上的硬化膜,由感放射线性组合物所形成,所述感放射线性组合物含有包含硅原子及芳香环的树脂(A)以及感放射线性化合物(B)。
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公开(公告)号:CN110794648B
公开(公告)日:2024-08-27
申请号:CN201910639583.5
申请日:2019-07-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜、硬化膜的制造方法及显示元件。感放射线性组合物,其含有聚合物成分(A)及感放射线性化合物(B),所述聚合物成分(A)在同一或不同的聚合物中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有式(II‑1)所表示的基的结构单元(II)。#imgabs0#[R1、R2、R3分别独立地为氢原子、烷基、脂环式烃基、芳基、这些基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基、或者‑SiRA3;RA分别独立地为碳数1~10的烷基;Q1为酯键、或者‑Ar1‑O‑所表示的二价基(Ar1为亚芳基、或者亚芳基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基)]。
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公开(公告)号:CN109581811A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201811098945.6
申请日:2018-09-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种放射线感度及保存稳定性优异且可获得解析度高、对于金属配线的腐蚀性低的经图案化的膜的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。一种感放射线性树脂组合物,包含:聚合体成分(A),在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II);感放射线性化合物(B);有机溶媒(D);以及水(E);并且所述水(E)的含量为10wtppm以上、800wtppm以下。
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公开(公告)号:CN110794648A
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201910639583.5
申请日:2019-07-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜、硬化膜的制造方法及显示元件。感放射线性组合物,其含有聚合物成分(A)及感放射线性化合物(B),所述聚合物成分(A)在同一或不同的聚合物中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有式(II-1)所表示的基的结构单元(II)。[R1、R2、R3分别独立地为氢原子、烷基、脂环式烃基、芳基、这些基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基、或者-SiRA3;RA分别独立地为碳数1~10的烷基;Q1为酯键、或者-Ar1-O-所表示的二价基(Ar1为亚芳基、或者亚芳基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基)]。
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公开(公告)号:CN109581812A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201811098959.8
申请日:2018-09-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种可使放射线感度与所谓的PCD裕度、PED裕度特性并存的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。所述感放射线性树脂组合物,包含:聚合体成分(A),在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)(其中,源自芳香族不饱和羧酸及含羟基氟化烷基的单体的结构单元除外);感放射线性化合物(B);以及有机溶媒(G)。
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公开(公告)号:CN118795734A
公开(公告)日:2024-10-18
申请号:CN202410437171.4
申请日:2024-04-12
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/075 , G02B1/14 , G02F1/1333 , G02F1/1339 , G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种能够形成可以充分的水平发挥感度、低介电常数化、及低逸气性的硬化膜的感放射线性组合物、由所述感放射线性组合物所形成的硬化膜及其制造方法、包括所述硬化膜的液晶显示装置、有机EL显示装置。本发明涉及一种感放射线性组合物,包含:(A)聚合体,在同一或不同分子中含有具有酸基的结构单元(I)、及具有选自由氧杂环丁基及氧杂环丙基所组成的群组中的一个以上的基的结构单元(II);(B)感放射线性化合物;以及(C)溶剂,所述聚合体(A)包含末端结构由下述式(1)表示的聚合体。(式(1)中,RA表示碳数2~20的烃基。“*”表示结合键)[化1]RA‑*(1)。
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公开(公告)号:CN113552769A
公开(公告)日:2021-10-26
申请号:CN202110438836.X
申请日:2021-04-22
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种可获得显影密接性优异的膜的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件、显示元件以及聚合物。一种感放射线性组合物,含有:包含具有式(1)所表示的基的结构单元(I)的聚合物、光酸产生剂、及原酸酯化合物。式(1)中,R1为氢原子、卤素原子、羟基或碳数1~6的烷氧基。R2及R3分别独立地为氢原子、卤素原子、羟基、碳数1~6的烷氧基、碳数1~10的烷基或苯基。“*”表示键结键。
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公开(公告)号:CN110320746A
公开(公告)日:2019-10-11
申请号:CN201910206932.4
申请日:2019-03-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、显示元件及显示装置。感放射线性组合物的放射线感度优异,且可形成耐化学品性高、对金属配线的腐蚀性低的硬化膜。感放射线性组合物,其包含:聚合体成分(A),在同一或不同的聚合体中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有烷氧基硅烷基的结构单元(II);以及感放射线性化合物(B)。
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公开(公告)号:CN105301898A
公开(公告)日:2016-02-03
申请号:CN201510381497.0
申请日:2015-07-02
Applicant: JSR株式会社
Inventor: 成子朗人
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明的目的在于提供一种放射线感度及保存稳定性优异且可形成耐化学品性、显影后及曝光放置后的图案密合性及透明性优异的硬化膜的感放射线性树脂组合物、由所述组合物形成的硬化膜及其形成方法与显示元件。本发明的树脂组合物含有:[A]聚合物成分,其包含具有式(1)所示的基团及具有交联性基的结构单元;及[B]感放射线性酸产生体,其包含具有式(2)所示的肟磺酸酯基的化合物及N-磺酰氧基酰亚胺化合物的至少一种。
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