公开(公告)号：CN107329366A

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201710273429.1

申请日：2017-04-24

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 柳政完 ,  杉田光 ,  河合孝広 ,  田中圭 ,  佐藤光央

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/40 ,  G02B5/20

CPC classification number: G03F7/0007 ,  G02B5/20 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供一种即便进行低温的后烘烤，也难以进行色移，且耐溶剂性及与基板的密接性良好的着色硬化膜的制造方法。一种着色硬化膜的制造方法，其特征在于：包括下述的步骤(1)～步骤(4)，步骤(1)：将含有(A)着色剂、(B)聚合性化合物及(C)感放射线性聚合起始剂的着色感放射线性组合物涂布在基板上而形成涂膜的步骤；步骤(2)：对所述步骤(1)中所获得的涂膜照射放射线(1)的步骤；步骤(3)：对所述步骤(2)中所获得的涂膜进行显影的步骤；步骤(4)：对所述步骤(3)中所获得的涂膜照射放射线(2)的步骤，其中，放射线(1)与放射线(2)可相同，也可以不同。

公开(公告)号：CN101427183A

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200780014538.6

申请日：2007-03-14

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 能村仲笃 ,  今野洋助 ,  杉田光 ,  高桥纯一

IPC: G03F7/11 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  Y10S430/106

Abstract: 本发明提供一种下层膜形成用组合物，其中，含有具有下述通式(1)所示的萘衍生物结构单元的聚合物(A)，通式(1)中，R1表示羟基等，X表示碳原子数为1～20的可以取代的亚烷基等，n是0～6的整数，m是1～8的整数，n+m是1～8的整数，多个R1和X可以相同也可以不同。