公开(公告)号：CN103079767A

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN201180039962.2

申请日：2011-08-18

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 闵庚勳 ,  林云勳 ,  李大渊 ,  宋在翊 ,  朴寿讃

IPC: B24D11/00 ,  B24D7/00 ,  B24B7/00

CPC classification number: B24B37/26

Abstract: 一种可安装到抛光板的抛光系统的抛光垫，并且具有预先确定的沟槽图案，以允许从抛光液供给器供给的抛光液在抛光表面移动。所述沟槽图案具有至少两种图案。

公开(公告)号：CN103079767B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180039962.2

申请日：2011-08-18

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 闵庚勳 ,  林云勳 ,  李大渊 ,  宋在翊 ,  朴寿讃

IPC: B24D11/00 ,  B24D7/00 ,  B24B7/00

CPC classification number: B24B37/26

Abstract: 一种可安装到抛光板的抛光系统的抛光垫，并且具有预先确定的沟槽图案，以允许从抛光液供给器供给的抛光液在抛光表面移动。所述沟槽图案具有至少两种图案。