公开(公告)号：CN103052467A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201180038080.4

申请日：2011-08-01

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 闵庚勋 ,  林艺勋 ,  李大渊 ,  宋在翊 ,  朴寿赞

IPC: B24B1/00 ,  B24B7/20 ,  B24B49/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B7/00 ,  B24B37/005 ,  B24B37/042 ,  B24B49/00

Abstract: 根据本发明，在用于抛光大型板的方法中能够将大型板的中心与边缘的抛光量的差异减到最小。

公开(公告)号：CN103079767A

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN201180039962.2

申请日：2011-08-18

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 闵庚勳 ,  林云勳 ,  李大渊 ,  宋在翊 ,  朴寿讃

IPC: B24D11/00 ,  B24D7/00 ,  B24B7/00

CPC classification number: B24B37/26

Abstract: 一种可安装到抛光板的抛光系统的抛光垫，并且具有预先确定的沟槽图案，以允许从抛光液供给器供给的抛光液在抛光表面移动。所述沟槽图案具有至少两种图案。

公开(公告)号：CN103079767B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180039962.2

申请日：2011-08-18

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 闵庚勳 ,  林云勳 ,  李大渊 ,  宋在翊 ,  朴寿讃

IPC: B24D11/00 ,  B24D7/00 ,  B24B7/00

CPC classification number: B24B37/26

Abstract: 一种可安装到抛光板的抛光系统的抛光垫，并且具有预先确定的沟槽图案，以允许从抛光液供给器供给的抛光液在抛光表面移动。所述沟槽图案具有至少两种图案。

公开(公告)号：CN103052467B

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201180038080.4

申请日：2011-08-01

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 闵庚勋 ,  林艺勋 ,  李大渊 ,  宋在翊 ,  朴寿赞

IPC: B24B37/005 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B7/00 ,  B24B37/005 ,  B24B37/042 ,  B24B49/00

Abstract: 根据本发明，在用于抛光大型板的方法中能够将大型板的中心与边缘的抛光量的差异减到最小。