用于使激光辐射均匀化的设备

    公开(公告)号:CN102292663A

    公开(公告)日:2011-12-21

    申请号:CN201080005134.2

    申请日:2010-02-17

    CPC classification number: G02B27/0927 G02B19/0014 G02B19/0052 G02B27/0966

    Abstract: 一种用于使激光辐射(1)均匀化的设备,包括多个相互错开设置的反射镜元件(6),要均匀化的激光辐射(1)能在反射镜元件(6)上被反射使得激光辐射被分成数量与反射镜元件(6)的数量相对应的子束(8),子束通过反射而相互具有光程差;多个透镜元件(4),为透镜元件中每一个分别分配反射镜元件(6)之一,使得子束(8)中每一个都能穿过透镜元件(4)之一;其中反射镜元件(6)中每一个与分配给这一反射镜元件的透镜元件(4)之间的距离等于各自透镜元件(4)的焦距(f4)。

    用于使激光辐射均匀化的设备

    公开(公告)号:CN102292663B

    公开(公告)日:2013-10-23

    申请号:CN201080005134.2

    申请日:2010-02-17

    CPC classification number: G02B27/0927 G02B19/0014 G02B19/0052 G02B27/0966

    Abstract: 一种用于使激光辐射(1)均匀化的设备,包括多个相互错开设置的反射镜元件(6),要均匀化的激光辐射(1)能在反射镜元件(6)上被反射使得激光辐射被分成数量与反射镜元件(6)的数量相对应的子束(8),子束通过反射而相互具有光程差;多个透镜元件(4),为透镜元件中每一个分别分配反射镜元件(6)之一,使得子束(8)中每一个都能穿过透镜元件(4)之一;其中反射镜元件(6)中每一个与分配给这一反射镜元件的透镜元件(4)之间的距离等于各自透镜元件(4)的焦距(f4)。

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