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发明公开
硬质被膜、硬质被膜被覆工具和硬质被膜的制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN118140006A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202180102635.0

申请日：2021-09-30

Applicant: OSG株式会社

Inventor： 足立佳亮 , 仪间弘树 , 杉田博昭

IPC: C23C14/06

Abstract: 硬质被膜32包含设置于基材30的表面的第1层34和设置于第1层34的表面的第2层36，第1层34为AlCrαN，第2层36为AlCrCN。另外，将第1层34的膜厚T1与第2层36的膜厚T2加起来的总膜厚T在0.5μm～9.0μm的范围内，第2层36的膜厚T2相对于总膜厚T的比例(T2/T)在5％～50％的范围内。另外，在X射线衍射峰中具有归属于(111)面和(200)面的峰，同时(111)面的峰强度SP1与(200)面的峰强度SP2的强度比(SP1/SP2)在0.1～20的范围内。采用这样的硬质被膜32，获得优异的耐久性。

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