公开(公告)号：CN103807483B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201310562443.5

申请日：2013-11-12

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 渡边忠男 ,  平林悠

IPC: G05D16/20

CPC classification number: G05D16/2093 ,  G05D16/2086 ,  Y10T137/7761

Abstract: 本发明提供一种真空调压系统，其中，通过阀部件来开闭阀座的阀主体部具有：流体压驱动部，其具有开闭操作阀部件的受压部件（活塞）；阀开度调节部，其设定阀部件的开度；电磁阀装置，向流体压驱动部给排先导流体；和控制器，其控制阀部件的开度。控制器具有以使真空腔成为规定的目标压力的方式通过受压部件的位置控制来控制阀部件的开度的功能，另外，还具有以下功能：监视由压力传感器得到的真空腔内的当前压力值和目标压力值之差，将该差脱离所设定的允许范围的情况作为异常进行报告。

公开(公告)号：CN103807483A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201310562443.5

申请日：2013-11-12

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 渡边忠男 ,  平林悠

IPC: F16K31/04 ,  F16K31/06 ,  F16K37/00

CPC classification number: G05D16/2093 ,  G05D16/2086 ,  Y10T137/7761

Abstract: 本发明提供一种真空调压系统，其中，通过阀部件来开闭阀座的阀主体部具有：流体压驱动部，其具有开闭操作阀部件的受压部件（活塞）；阀开度调节部，其设定阀部件的开度；电磁阀装置，向流体压驱动部给排先导流体；和控制器，其控制阀部件的开度。控制器具有以使真空腔成为规定的目标压力的方式通过受压部件的位置控制来控制阀部件的开度的功能，另外，还具有以下功能：监视由压力传感器得到的真空腔内的当前压力值和目标压力值之差，将该差脱离所设定的允许范围的情况作为异常进行报告。