公开(公告)号：CN103807483B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201310562443.5

申请日：2013-11-12

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 渡边忠男 ,  平林悠

IPC: G05D16/20

CPC classification number: G05D16/2093 ,  G05D16/2086 ,  Y10T137/7761

Abstract: 本发明提供一种真空调压系统，其中，通过阀部件来开闭阀座的阀主体部具有：流体压驱动部，其具有开闭操作阀部件的受压部件（活塞）；阀开度调节部，其设定阀部件的开度；电磁阀装置，向流体压驱动部给排先导流体；和控制器，其控制阀部件的开度。控制器具有以使真空腔成为规定的目标压力的方式通过受压部件的位置控制来控制阀部件的开度的功能，另外，还具有以下功能：监视由压力传感器得到的真空腔内的当前压力值和目标压力值之差，将该差脱离所设定的允许范围的情况作为异常进行报告。

公开(公告)号：CN103807483A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201310562443.5

申请日：2013-11-12

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 渡边忠男 ,  平林悠

IPC: F16K31/04 ,  F16K31/06 ,  F16K37/00

CPC classification number: G05D16/2093 ,  G05D16/2086 ,  Y10T137/7761

Abstract: 本发明提供一种真空调压系统，其中，通过阀部件来开闭阀座的阀主体部具有：流体压驱动部，其具有开闭操作阀部件的受压部件（活塞）；阀开度调节部，其设定阀部件的开度；电磁阀装置，向流体压驱动部给排先导流体；和控制器，其控制阀部件的开度。控制器具有以使真空腔成为规定的目标压力的方式通过受压部件的位置控制来控制阀部件的开度的功能，另外，还具有以下功能：监视由压力传感器得到的真空腔内的当前压力值和目标压力值之差，将该差脱离所设定的允许范围的情况作为异常进行报告。

公开(公告)号：CN303167723S

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201430337607.X

申请日：2014-09-12

Applicant: SMC株式会社

Designer： 渡边忠男 ,  郡司健

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电动执行器用控制器。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品是用于控制电动线性平台、电动夹钳等电动执行器的驱动动作的电动执行器用控制器。3．本外观设计产品的设计要点：整体形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图。5．本外观设计为相似外观，其中设计1为基本设计。