公开(公告)号：CN104364924B

公开(公告)日：2019-01-08

申请号：CN201380029622.0

申请日：2013-05-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐久间仁志 ,  仓知克行 ,  会田康弘 ,  前岛和彦 ,  中岛真由美

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08

Abstract: 一种压电器件(100A～100D)，具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。

公开(公告)号：CN104364923B

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201380029575.X

申请日：2013-05-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 仓知克行 ,  佐久间仁志 ,  会田康弘 ,  前岛和彦 ,  中岛真由美

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08

CPC classification number: H01L41/0815 ,  H01L41/0477

Abstract: 一种电介质器件(100A～100D)，具有非取向或非晶结构的第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上并具有择优取向结构的电介质膜(3)、以及设置在电介质膜上并具有非取向或非晶结构第二电极膜(8)。

公开(公告)号：CN104364924A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380029622.0

申请日：2013-05-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐久间仁志 ,  仓知克行 ,  会田康弘 ,  前岛和彦 ,  中岛真由美

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08

CPC classification number: H01L41/0815 ,  H01L41/0477

Abstract: 一种压电器件(100A～100D)，具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。

公开(公告)号：CN104364923A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380029575.X

申请日：2013-05-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 仓知克行 ,  佐久间仁志 ,  会田康弘 ,  前岛和彦 ,  中岛真由美

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08

CPC classification number: H01L41/0815 ,  H01L41/0477

Abstract: 一种电介质器件(100A～100D)，具有非取向或非晶结构的第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上并具有择优取向结构的电介质膜(3)、以及设置在电介质膜上并具有非取向或非晶结构第二电极膜(8)。