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公开(公告)号：CN104395087B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380033316.4
申请日：2013-07-25
Applicant: TDK株式会社
IPC: B41J2/14 , G11B5/48 , H01L41/053 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/0478 , B41J2/14233 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/1873 , H01L41/313 , H01L41/316
Abstract: 根据本发明的压电器件(100)设置有第一电极膜(5)、设置在第一电极膜(5)上的第一非金属导电性中间膜(4)、设置在第一非金属导电性中间膜(4)上的压电膜(3)、设置在压电膜(3)上的第二非金属导电性中间膜(2)、以及设置在第二非金属导电性中间膜(2)上的第二电极膜(1)。第一非金属导电性中间膜(4)的线性膨胀系数大于第一电极膜(5)和压电膜(3)的线性膨胀系数，并且第二非金属导电性中间膜(2)的线性膨胀系数大于第二电极膜(1)和压电膜(3)的线性膨胀系数。
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公开(公告)号：CN104603966A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201380045724.1
申请日：2013-08-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/08 , H01L41/316
CPC classification number: H01L41/18 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及一种薄膜压电元件(100)，其包括一对电极层(12，5)和夹在该对电极层之间的压电薄膜(3)，其中该压电薄膜包含稀有气体元素并且在压电薄膜的厚度方向上具有稀有气体元素的含量的梯度。
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公开(公告)号：CN104396039A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380033604.X
申请日：2013-07-25
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/053 , H01L41/09 , B41J2/14 , G11B5/48 , H01L41/113
CPC classification number: H03H9/02133 , G01C19/5783 , G01P15/00 , H01L41/0536 , H01L41/0805 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H04R17/02
Abstract: 根据本发明的压电器件(100)设置有一对电极膜(8，12)、夹在这对电极膜(8，12)之间的压电膜(10)、以及应力控制膜(14)，应力控制膜(14)在电极膜(12)不与压电膜(10)接触的侧上与这对电极膜(12)中的至少一个直接接触，并且具有比相关的电极膜(12)和压电膜(10)的线性膨胀系数更大的线性膨胀系数。
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公开(公告)号：CN104576915B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201410564550.6
申请日：2014-10-21
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01L41/0805 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , G01L1/16 , G01L9/008 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明提供了一种压电元件，其通过具备由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物即铌酸钾钠的结晶组织的结晶取向是以其厚度方向为第1旋转对称轴而作为压电体层整体为面内四重对称的铌酸钾钠薄膜作为压电体层，从而增大压电元件的致动器的位移量或者作为传感器的灵敏度，并且能够降低耗电。
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公开(公告)号：CN104603966B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201380045724.1
申请日：2013-08-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/08 , H01L41/316
CPC classification number: H01L41/18 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及一种薄膜压电元件(100)，其包括一对电极层(12，5)和夹在该对电极层之间的压电薄膜(3)，其中该压电薄膜包含稀有气体元素并且在压电薄膜的厚度方向上具有稀有气体元素的含量的梯度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104835906A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201510069985.8
申请日：2015-02-10
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H02N2/0075 , B06B1/0253 , B06B2201/55 , H01L41/042 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H02N2/14
Abstract: 本发明公开了一种压电装置、压电致动器、硬盘驱动器以及喷墨打印装置，所述压电装置具有包括压电体层和将该压电体层夹在其中的电极层的压电元件以及经由所述电极层向所述压电体层施加交流驱动电场的驱动电路，其特征在于：在将电场施加到极化达到饱和状态时，所述压电体层的极化率γ小于1×10-9(C/(V·m))；所述驱动电路具有将驱动电场的最小值设定为大于所述压电体层的正的矫顽电场的单元，以及将驱动电场的最大值设定为小于(Pm’(极化的最大值)-Pr’(准剩余极化))/(1×10-9)的单元，其中，极化率γ＝(Pm(饱和极化)-Pr(剩余极化))/Ed(施加电场的最大值)。
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公开(公告)号：CN104364924A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029622.0
申请日：2013-05-14
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0815 , H01L41/0477
Abstract: 一种压电器件(100A～100D)，具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。
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公开(公告)号：CN104364923A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029575.X
申请日：2013-05-14
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0815 , H01L41/0477
Abstract: 一种电介质器件(100A～100D)，具有非取向或非晶结构的第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上并具有择优取向结构的电介质膜(3)、以及设置在电介质膜上并具有非取向或非晶结构第二电极膜(8)。
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公开(公告)号：CN104641481B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201380048271.8
申请日：2013-08-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/316
CPC classification number: H01L41/04 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明所涉及的薄膜压电元件包括具有60nm以上且90nm以下的平均晶粒直径的铌酸钾钠基压电薄膜、以及配置成将该压电薄膜保持于其间的一对电极膜。
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公开(公告)号：CN104395087A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380033316.4
申请日：2013-07-25
Applicant: TDK株式会社
IPC: B41J2/14 , G11B5/48 , H01L41/053 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/0478 , B41J2/14233 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/1873 , H01L41/313 , H01L41/316
Abstract: 根据本发明的压电器件(100)设置有第一电极膜(5)、设置在第一电极膜(5)上的第一非金属导电性中间膜(4)、设置在第一非金属导电性中间膜(4)上的压电膜(3)、设置在压电膜(3)上的第二非金属导电性中间膜(2)、以及设置在第二非金属导电性中间膜(2)上的第二电极膜(1)。第一非金属导电性中间膜(4)的线性膨胀系数大于第一电极膜(5)和压电膜(3)的线性膨胀系数，并且第二非金属导电性中间膜(2)的线性膨胀系数大于第二电极膜(1)和压电膜(3)的线性膨胀系数。
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