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公开(公告)号:CN1182515C
公开(公告)日:2004-12-29
申请号:CN98115042.X
申请日:1998-06-19
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G11B5/1871 , B24B7/16 , B24B7/22 , B24B41/06 , G11B5/3103 , G11B5/3116 , G11B5/3163 , Y10T29/49048 , Y10T29/4905
Abstract: 一个具有排列在其上的多个薄膜磁头的待研磨物件在下述情况下受到研磨,把一个其上固定有该物件的一个水平长型夹具安装在一个研磨头上,使该物件与已被驱动和旋转的研磨盘的研磨表面相面接触,通过一个与研磨盘的该研磨表面处于面接触状态的调整环来控制该研磨头的体位。因此通过使该物件的体位以研磨盘的研磨表面作为基准来进行控制,可以改进物件的平直度并且可以减少在待研磨物件上形成的许多磁头的喉部高度的变化。
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公开(公告)号:CN1208912A
公开(公告)日:1999-02-24
申请号:CN98115042.X
申请日:1998-06-19
Applicant: TDK株式会社
IPC: G11B5/31
CPC classification number: G11B5/1871 , B24B7/16 , B24B7/22 , B24B41/06 , G11B5/3103 , G11B5/3116 , G11B5/3163 , Y10T29/49048 , Y10T29/4905
Abstract: 一个具有排列在其上的多个薄膜磁头的待研磨物件在下述情况下受到研磨,把一个其上固定有该物件的一个水平长型夹具安装在一个研磨头上,使该物件与已被驱动和旋转的研磨盘的研磨表面相面接触,通过一个与研磨盘的该研磨表面处于面接触状态的调整环来控制该研磨头的体位。因此通过使该物件的体位以研磨盘的研磨表面作为基准来进行控制,可以改进物件的平直度并且可以减少在待研磨物件上形成的许多磁头的喉部高度的变化。
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