公开(公告)号：CN100571030C

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200310120320.2

申请日：2003-12-11

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小室荣树 ,  斋藤久俊 ,  野口隆男 ,  阿部秀典

IPC: H03H9/17

CPC classification number: H03H9/175 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/02149 ,  H03H9/174 ,  H03H9/605 ,  H03H9/706 ,  H03H2003/0407

Abstract: 压电谐振滤波器包括一组串联谐振器和一组并联谐振器，以便形成梯形滤波器电路。每个谐振器具有带压电特性的压电薄膜(15)，和被布置在所述压电薄膜(15)的相反表面上的下部电极和上部电极(14和16)，用于施加激励电压到压电薄膜(15)。该并联谐振器组呈现滤波器中的低频端衰减极端值，而串联谐振器组呈现滤波器中的高频端衰减极端值。串联谐振器组和并联谐振器组的至少一个谐振器具有温度补偿层(20)，用来使得谐振频率的温度系数接近于零。在串联谐振器组中的温度补偿层(20)的厚度不同于在并联谐振器组中的温度补偿层(20)的厚度。

公开(公告)号：CN1757158A

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN200480006162.0

申请日：2004-03-26

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小室荣树 ,  齐藤久俊 ,  野口隆男 ,  伊村正明

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H9/564 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明中的薄膜压电谐振器的制造方法，是在以覆盖形成在基体(2)之上的下部电极(3)的方式在基体(2)之上形成了压电膜(4)之后，将用于形成上部电极(6)的电极材料层(6b)形成在比压电膜(4)更靠近上侧的位置上，在电极材料层(6b)之上形成了规定形状的掩模之后，通过蚀刻电极材料层(6b)而形成上部电极(6)，从而制造薄膜压电谐振器(1)之际，在形成电极材料层(6b)的工序之前，在蚀刻电极材料层(6b)时，以覆盖压电膜(4)中至少上部电极(6)的非形成部位的方式形成用于保护压电膜(4)的保护层(5)，之后以覆盖保护层(5)的方式形成电极材料层(6b)。

公开(公告)号：CN100492896C

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN01802154.9

申请日：2001-05-23

Applicant: TDK株式会社

Inventor： R·W·沃特莫尔 ,  P·B·柯尔比 ,  苏清新 ,  小室荣树

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/58

CPC classification number: H03H9/605 ,  H03H2003/0471

Abstract: 电气滤波器具有串联和并联排列的1个以上的非压电层例如上部电极(24)的厚度(T)不同的多个薄膜体波谐振器(10，11)。

公开(公告)号：CN1625048A

公开(公告)日：2005-06-08

申请号：CN200410091271.9

申请日：2004-12-01

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小室荣树

IPC: H03H9/17

CPC classification number: H03H9/175 ,  H03H9/174

Abstract: 本发明的一个实施方式中的电滤波器，其特征在于：是具有利用在压电膜15的内部传送的体波而可得到规定频率信号的压电共振器(10)的电滤波器。该电滤波器在使所述压电共振器的有效电气机械结合系数的平方为k2、所述电滤波器的对象通过频带宽度为BP、所述电滤波器的对象通过频带的中心频率为f时，满足关系式k2＞(BP/0.6f)。

公开(公告)号：CN1507152A

公开(公告)日：2004-06-23

申请号：CN200310120320.2

申请日：2003-12-11

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小室荣树 ,  斋藤久俊 ,  野口隆男 ,  阿部秀典

IPC: H03H9/17

CPC classification number: H03H9/175 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/02149 ,  H03H9/174 ,  H03H9/605 ,  H03H9/706 ,  H03H2003/0407

Abstract: 压电谐振滤波器包括一组串联谐振器和一组并联谐振器，以便形成梯形滤波器电路。每个谐振器具有带压电特性的压电薄膜(15)，和被布置在所述压电薄膜(15)的相反表面上的下部电极和上部电极(14和16)，用于施加激励电压到压电薄膜(15)。该并联谐振器组呈现滤波器中的低频端衰减极端值，而串联谐振器组呈现滤波器中的高频端衰减极端值。串联谐振器组和并联谐振器组的至少一个谐振器具有温度补偿层(20)，用来使得谐振频率的温度系数接近于零。在串联谐振器组中的温度补偿层(20)的厚度不同于在并联谐振器组中的温度补偿层(20)的厚度。

公开(公告)号：CN1386320A

公开(公告)日：2002-12-18

申请号：CN01802166.2

申请日：2001-05-23

Applicant: TDK株式会社

Inventor： R·W·沃特莫尔 ,  P·B·柯尔比 ,  苏清新 ,  小室荣树

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/58

CPC classification number: H03H9/02094 ,  H03H3/04 ,  H03H9/605 ,  H03H2003/0435 ,  H03H2003/0457

Abstract: 电气滤波器具有包括串联和并联排列的作业区域(L)不同的电极(24,25)和厚度(T)不同的压电层(23)的多个薄膜体波谐振器(10,11)。

公开(公告)号：CN1205742C

公开(公告)日：2005-06-08

申请号：CN01802166.2

申请日：2001-05-23

Applicant: TDK株式会社

Inventor： R·W·沃特莫尔 ,  P·B·柯尔比 ,  苏清新 ,  小室荣树

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/58

CPC classification number: H03H9/02094 ,  H03H3/04 ,  H03H9/605 ,  H03H2003/0435 ,  H03H2003/0457

Abstract: 电气滤波器具有包括串联和并联排列的作业区域(L)不同的电极(24，25)和厚度(T)不同的压电层(23)的多个薄膜体波谐振器(10，11)。

公开(公告)号：CN1386319A

公开(公告)日：2002-12-18

申请号：CN01802154.9

申请日：2001-05-23

Applicant: TDK株式会社

Inventor： R·W·沃特莫尔 ,  P·B·柯尔比 ,  苏清新 ,  小室荣树

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/58

CPC classification number: H03H9/605 ,  H03H2003/0471

Abstract: 电气滤波器具有串联和并联排列的1个以上的非压电层例如上部电极(24)的厚度(T)不同的多个薄膜体波谐振器(10,11)。