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公开(公告)号：CN102193022A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110066098.7
申请日：2011-03-18
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G01R15/205 , B82Y25/00 , G01R33/093
Abstract: 本发明提供一种对涉及较宽范围的检测对象电流高灵敏度且高精度地进行检测的电流传感器。其具备：GMR元件（11～14），沿着导体相互同向延伸配置，根据流过导体的检测对象电流所产生的感应磁场，各自的电阻值示出变化；补偿电流线（30），通过流过补偿电流，将与感应磁场相反方向的补偿磁场提供给GMR元件（11～14）的每一个。GMR元件（11～14）相互连接而形成桥接电路。补偿电流通过从该桥接电路的中点取出的电位的差分产生。补偿电流线（30）中的带状部分（31～34）与GMR元件（11～14）同向延伸并且在厚度方向上与其分别重合，而且具有分别比GMR元件（11～14）的宽度（W11～W14）小的宽度（W31～34）。
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公开(公告)号：CN118696626A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202280091027.9
申请日：2022-02-09
Applicant: TDK株式会社
Abstract: 本发明的技术问题在于，即使在覆盖功能膜的保护膜的膜厚非常薄的情况下，也能够可靠地将引线层与保护膜电连接。在功能膜(20)的表面将导电性的保护膜(51)成膜之后，在将保护膜(51)的表面的一部分以掩模(60)覆盖的状态下进行反溅射，从而将形成在未被掩模(60)覆盖的保护膜(51)的表面的自然氧化膜(52)物理还原。然后，在未被掩模(60)覆盖的保护膜(51)的表面将引线层(40)成膜。由此，能够不进行蚀刻而将形成于保护膜(51)的表面的自然氧化膜(52)去除，因此，即使在保护膜(51)的膜厚非常薄的情况下，也能够不对功能膜(20)造成损伤，将引线层(40)与保护膜(51)电连接。
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公开(公告)号：CN102193022B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201110066098.7
申请日：2011-03-18
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G01R15/205 , B82Y25/00 , G01R33/093
Abstract: 本发明提供一种对涉及较宽范围的检测对象电流高灵敏度且高精度地进行检测的电流传感器。其具备：GMR元件（11～14），沿着导体相互同向延伸配置，根据流过导体的检测对象电流所产生的感应磁场，各自的电阻值示出变化；补偿电流线（30），通过流过补偿电流，将与感应磁场相反方向的补偿磁场提供给GMR元件（11～14）的每一个。GMR元件（11～14）相互连接而形成桥接电路。补偿电流通过从该桥接电路的中点取出的电位的差分产生。补偿电流线（30）中的带状部分（31～34）与GMR元件（11～14）同向延伸并且在厚度方向上与其分别重合，而且具有分别比GMR元件（11～14）的宽度（W11～W14）小的宽度（W31～34）。
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