公开(公告)号：CN102308356A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN201080006695.4

申请日：2010-01-11

Applicant: TEL埃皮恩公司

Inventor： M·D·塔巴 ,  M·C·格温 ,  R·K·贝克尔 ,  A·弗雷特西斯 ,  M·格拉夫

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0812 ,  H01J2237/0825 ,  H01J2237/0827

Abstract: 公开了一种用于将工艺气体混合物或多种工艺气体混合物引入到气体团簇离子束(GCIB)系统(100、100’、100”)中的多喷嘴和分离器组件以及在衬底(152、252)上生长、改性、沉积或掺杂层的相关操作方法。多喷嘴和分离器组件包括至少两个喷嘴(116、1016、2110、2120、4110、4120、7010、7020)，这些喷嘴被布置成相互紧靠以将从喷嘴喷射出的气体团簇束至少部分地合并成单一气体团簇束(118)和/或被倾斜以将每一束朝向单一相交点(420)而会合以形成一组相交的气体团簇束，以及将单一和/或相交的气体团簇束引导到气体分离器中。

公开(公告)号：CN102308356B

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201080006695.4

申请日：2010-01-11

Applicant: TEL埃皮恩公司

Inventor： M·D·塔巴 ,  M·C·格温 ,  R·K·贝克尔 ,  A·弗雷特西斯 ,  M·格拉夫

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0812 ,  H01J2237/0825 ,  H01J2237/0827

Abstract: 公开了一种用于将工艺气体混合物或多种工艺气体混合物引入到气体团簇离子束(GCIB)系统(100、100’、100”)中的多喷嘴和分离器组件以及在衬底(152、252)上生长、改性、沉积或掺杂层的相关操作方法。多喷嘴和分离器组件包括至少两个喷嘴(116、1016、2110、2120、4110、4120、7010、7020)，这些喷嘴被布置成相互紧靠以将从喷嘴喷射出的气体团簇束至少部分地合并成单一气体团簇束(118)和/或被倾斜以将每一束朝向单一相交点(420)而会合以形成一组相交的气体团簇束，以及将单一和/或相交的气体团簇束引导到气体分离器中。