公开(公告)号：CN119230465A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202410807503.3

申请日：2024-06-21

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 糸山哲朗 ,  上藤淳平 ,  梅津智树

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的静电吸盘具备：电介体基板；基座板，其为被接合于电介体基板的金属构件且形成有气孔；及通气插件，被配置在气孔的内部。通气插件具有：多孔质部，其为由具有通气性的多孔质的陶瓷所形成的部分；及致密部，其为由并不具有通气性的致密的陶瓷所形成的部分，从外周侧在整周的跨度上围住多孔质部。多孔质部与致密部通过烧结相互呈一体，而不是在中间隔着由陶瓷以外的材料所形成的接合材。

公开(公告)号：CN115132635A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202210240196.6

申请日：2022-03-10

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 小野瑛人 ,  上藤淳平 ,  梅津智树 ,  早川达也

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备陶瓷电介体基板及基座板，其特征为，陶瓷电介体基板具有：第1、第2主面；槽部，从第1主面向第2主面凹下；及多个冷却气体用孔，穿通槽部与第2主面之间，槽部具有第1、第2周向槽及第1、第2径向槽，多个冷却气体用孔具有：第1孔，当俯视观察时与第1径向槽发生重叠；及第2孔，当俯视观察时与第2径向槽发生重叠，基座板具有向第1孔及第2孔供给冷却气体的气体导入路，第1周向槽具有位于周向的一端侧的第1端部及位于另一端侧的第2端部，第2周向槽具有位于周向的一端侧的第3端部及位于另一端侧的第4端部，第3端部及第4端部分别在径向上并不与第1端部发生重叠。

公开(公告)号：CN116895590A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310289661.X

申请日：2023-03-23

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 小野瑛人 ,  池口雅文 ,  梅津智树 ,  上藤淳平

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，其能够抑制冷媒流路的位置偏离的影响。提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板；及基座板，支撑陶瓷电介体基板，具有陶瓷电介体基板侧的上面和上面相反侧的下面，其特征为，基座板包含设置在上面与下面之间且冷媒可通过的连通路，连通路包含具有沿向第1方向的一对侧面的第1流路部，该第1方向是沿向冷媒的流向的方向，当沿着基座板与陶瓷电介体基板的积层方向上观察时，一对侧面中的一个侧面具有：多个凸部，在垂直于第1方向且从一对侧面中的另一个侧面朝向一个侧面的第2方向上呈凸状；及多个凹部，在第2方向的相反方向上呈凸状，多个凸部与多个凹部交替排列。

公开(公告)号：CN119694966A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202410933289.6

申请日：2024-07-12

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 糸山哲朗 ,  上藤淳平 ,  梅津智树

IPC: H01L21/683 ,  H05B3/06

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够抑制加热器的局部的温度上升。静电吸盘(10)具备：电介体基板(100)；及加热器单元(300)，对电介体基板(100)进行加热。加热器单元(300)具有：供电部(390)，从外部接受电力的供给；发热部(331)，其为以线状围绕布置的导体，接受来自供电部(390)的电力的供给而发热；及旁路层(370)，连接供电部(390)与发热部(331)之间。发热部(331)具有局部放大其线宽的部分即扩宽部(332)。在扩宽部(332)的多个部位处，将旁路层(370)连接于发热部(331)。

公开(公告)号：CN116895591A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310302696.2

申请日：2023-03-27

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 小野瑛人 ,  糸山哲朗 ,  梅津智树 ,  上藤淳平

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，其能够提高处理对象物的面内温度分布的均匀性。提供一种静电吸盘，具备：基座板，包含冷媒可通过的涡旋状的连通路；第1加热器元件，包含径向及周向上排列的多个第1区；及多个第1供电端子，向多个第1区供电，多个第1区包含发热的第1加热器线和向第1加热器线供电的一对第1供电部，一对第1供电部电连接于多个第1供电端子，多个第1供电端子包含：第1环状部分，配置在第1假想圆上；及第2环状部分，位于与第1环状部分相比更靠近内侧的位置且配置在第2假想圆上，当沿着积层方向观察时，在第1环状部分与第2环状部分之间，连通路包含围住第2环状部分周围的第1圈部分。