公开(公告)号：CN106104035A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201580001730.6

申请日：2015-08-11

Applicant: ULVAC机工株式会社

Inventor： 儿玉纯一 ,  宫下敏郎 ,  周防原显 ,  糸山龙二

IPC: F16C35/067 ,  F04B39/00 ,  F04C29/00 ,  F16C19/06 ,  H02K5/16 ,  H02K11/00

CPC classification number: F04B39/00 ,  F04C29/00 ,  F16C19/06 ,  F16C35/067 ,  H02K5/16 ,  H02K11/00

Abstract: 本发明目的在于使得在真空排气装置的轴承装置上不发生电腐蚀。在真空排气装置（10）的第一台座（50a）的支座部（53）上设置有收纳孔（51），将从设置于背板部（55）的粘接面（54）的台座侧粘接剂层（38）向下方移动的粘接剂从位于座面（57）的开口（58）收纳至收纳孔（51）内，而不侵入至第一轴承装置（40a）的外环42和座面（57）之间。外环（42）和座面（57）接触，外环（42）和第一台座（50a）被电连接，所以外环（42）经由第一台座（50a）被连接于泵壳（30），结果被接地。内环（43）和滚动体（45）的电位下降，所以防止在第一轴承装置（40a）的内部的电腐蚀。