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公开(公告)号：CN102606447A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210003851.2
申请日：2012-01-06
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供了一种可提高密封部件的耐久寿命的活塞以及具有该活塞的真空泵。本发明活塞(5)包括活塞主体(51)、密封部件(52)、密封部件固定板(53)、紧固部(54)。活塞主体(51)可往复地嵌插在气缸(6)内，具有与往复方向垂直的第一面(51a)。密封部件(52)安装于第一面(51)上，将气缸(6)与活塞主体(51)之间密封。密封部件固定板(53)具有与第一面(51a)相对且触接密封部件(52)的第二面(53a)及第二面(53a)反侧的第三面(53b)，第二面(53a)具有中央侧的第一区域(A1)与边缘侧的第二区域(A2)，第一区域(A1)以第一挤压力挤压密封部件(52)，第二区域(A2)以比第一挤压力大的第二挤压力挤压密封部件(52)。
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公开(公告)号：CN102536754A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110386882.6
申请日：2011-11-29
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种可在停止运转时限制流体排出的泵装置。泵装置(3)具备壳体(10)、可动构件(30)、吸入阀(41)、排出阀(42)、以及阀机构(50)。壳体(10)具有可与吸入口(101)和排出口(102)分别连通的泵室(100)。可动构件(30)可在壳体(10)的内部移动，交互进行向泵室(100)吸入流体和从泵室(100)排出流体。排出阀(42)安装于泵室(100)和排出口(102)之间，允许大于或等于第一压力的流体从泵室(100)向排出口(42)流动。阀机构(50)安装于壳体(10)上，限制大于所述第一压力且小于或等于第二压力的流体从吸入口(101)向排出口(102)流动。
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公开(公告)号：CN102536754B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201110386882.6
申请日：2011-11-29
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种可在停止运转时限制流体排出的泵装置。泵装置(3)具备壳体(10)、可动构件(30)、吸入阀(41)、排出阀(42)、以及阀机构(50)。壳体(10)具有可与吸入口(101)和排出口(102)分别连通的泵室(100)。可动构件(30)可在壳体(10)的内部移动，交互进行向泵室(100)吸入流体和从泵室(100)排出流体。排出阀(42)安装于泵室(100)和排出口(102)之间，允许大于或等于第一压力的流体从泵室(100)向排出口(42)流动。阀机构(50)安装于壳体(10)上，限制大于所述第一压力且小于或等于第二压力的流体从吸入口(101)向排出口(102)流动。
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公开(公告)号：CN102536766A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110389590.8
申请日：2011-11-30
Applicant: ULVAC机工株式会社
IPC: F04B49/06
Abstract: 本发明提供一种不依赖于外界空气温度可使排出流量稳定的泵装置及其控制方法。所述泵装置的控制方法包括：输出用于以从泵本体的排出口排出标准流量的气体的旋转速度来驱动电机的驱动信号；利用安装于所述泵本体的温度传感器，测量从所述排出口排出的气体的温度或所述泵本体的温度；根据所述温度传感器的输出中所包含的与所述气体温度相关的温度信号，计算从所述排出口排出的所述气体的实际流量；修正所述驱动信号，并将经过修正的驱动信号向所述电机输出，以使所述实际流量与所述标准流量一致。
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公开(公告)号：CN106104035A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580001730.6
申请日：2015-08-11
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明目的在于使得在真空排气装置的轴承装置上不发生电腐蚀。在真空排气装置（10）的第一台座（50a）的支座部（53）上设置有收纳孔（51），将从设置于背板部（55）的粘接面（54）的台座侧粘接剂层（38）向下方移动的粘接剂从位于座面（57）的开口（58）收纳至收纳孔（51）内，而不侵入至第一轴承装置（40a）的外环42和座面（57）之间。外环（42）和座面（57）接触，外环（42）和第一台座（50a）被电连接，所以外环（42）经由第一台座（50a）被连接于泵壳（30），结果被接地。内环（43）和滚动体（45）的电位下降，所以防止在第一轴承装置（40a）的内部的电腐蚀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102606447B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210003851.2
申请日：2012-01-06
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供了一种可提高密封部件的耐久寿命的活塞以及具有该活塞的真空泵。本发明活塞(5)包括活塞主体(51)、密封部件(52)、密封部件固定板(53)、紧固部(54)。活塞主体(51)可往复地嵌插在气缸(6)内，具有与往复方向垂直的第一面(51a)。密封部件(52)安装于第一面(51)上，将气缸(6)与活塞主体(51)之间密封。密封部件固定板(53)具有与第一面(51a)相对且触接密封部件(52)的第二面(53a)及第二面(53a)反侧的第三面(53b)，第二面(53a)具有中央侧的第一区域(A1)与边缘侧的第二区域(A2)，第一区域(A1)以第一挤压力挤压密封部件(52)，第二区域(A2)以比第一挤压力大的第二挤压力挤压密封部件(52)。
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公开(公告)号：CN102536766B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201110389590.8
申请日：2011-11-30
Applicant: ULVAC机工株式会社
IPC: F04B49/06
Abstract: 本发明提供一种不依赖于外界空气温度可使排出流量稳定的泵装置及其控制方法。所述泵装置的控制方法包括：输出用于以从泵本体的排出口排出标准流量的气体的旋转速度来驱动电机的驱动信号；利用安装于所述泵本体的温度传感器，测量从所述排出口排出的气体的温度或所述泵本体的温度；根据所述温度传感器的输出中所包含的与所述气体温度相关的温度信号，计算从所述排出口排出的所述气体的实际流量；修正所述驱动信号，并将经过修正的驱动信号向所述电机输出，以使所述实际流量与所述标准流量一致。
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公开(公告)号：CN102626985B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201210021616.8
申请日：2012-01-31
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种实现维持汽缸与活塞之间的密封性并且提高泵的耐久性的密封构件的制造方法及成型装置。在该制造方法中，密封构件具有平面部(50a)和密封部(50b)，该方法包括：在具有第一圆筒部(111)和第一底面部(112)的第一治具(110)上安装具有比第一圆筒部(111)的内径大的外径的圆形树脂板(50S)，将具备具有比第一圆筒部(111)的内径小的外径的第二圆筒部(121)及第二底面部(122)的第二治具(120)安装于第一治具(110)上，通过第一底面部(112)和第二底面部(122)以规定压力夹压板构件(50S)并加热至规定温度，由此在第一底面部(112)和第二底面部(122)之间形成平面部(50a)，在第一圆筒部(111)和第二圆筒部(121)之间形成密封部(50b)。
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公开(公告)号：CN102626985A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210021616.8
申请日：2012-01-31
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种实现维持汽缸与活塞之间的密封性并且提高泵的耐久性的密封构件的制造方法及成型装置。在该制造方法中，密封构件具有平面部(50a)和密封部(50b)，该方法包括：在具有第一圆筒部(111)和第一底面部(112)的第一治具(110)上安装具有比第一圆筒部(111)的内径大的外径的圆形树脂板(50S)，将具备具有比第一圆筒部(111)的内径小的外径的第二圆筒部(121)及第二底面部(122)的第二治具(120)安装于第一治具(110)上，通过第一底面部(112)和第二底面部(122)以规定压力夹压板构件(50S)并加热至规定温度，由此在第一底面部(112)和第二底面部(122)之间形成平面部(50a)，在第一圆筒部(111)和第二圆筒部(121)之间形成密封部(50b)。
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