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公开(公告)号：CN117664257A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311812325.5
申请日：2023-12-26
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
Abstract: 本发明涉及流量测量技术领域，具体而言，涉及一种流量调节组件及流量测量设备。流量调节组件用于安装于测量流道内，且沿流体流向设于微机电流量传感器的前方；流量调节组件包括沿流体流向依次排布的导流环、碎流盘和整流组件，导流环的外径与测量流道的直径一致，碎流盘与导流环的中间开口间隔相对设置，碎流盘与整流组件间隔相对设置。流量测量设备包括上述流量调节组件。本发明提供的流量调节组件及流量测量设备，可提高流体流速重现的有效性，保证流体流态的重复性，测量精度较高；还允许消除入口连接管道条件，可应用于有限空间的安装，且不易被堵塞。
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公开(公告)号：CN114352794A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202210107037.9
申请日：2022-01-28
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供一种智能工业气瓶阀及智能工业气瓶管理系统，涉及气瓶管理领域。该阀包括底座和机电手轮，底座用于与现有机械阀的手柄或阀杆连接，机电手轮可转动地安装于底座；底座设有状态识别标签，至少设有打开识别码和关闭识别码，机电手轮开设有显示窗口，择一地显示各识别码；还包括电路板，当机电手轮转动至气瓶打开的位置时，手轮触发微动开关，蓝牙模块开始传输存储的气瓶状态信息。使用该阀，当用户距离气瓶较远时，可通过中继器传送蓝牙信号至客户端而使客户实时知悉气瓶的状态，避免供气中断造成损失；当用户需要操作气瓶，特别是气瓶组时，通过直接观察状态识别标签而识别气瓶的状态，既能有效避免回充浪费，又能提高操作效率。
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公开(公告)号：CN113932863B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202111344395.3
申请日：2021-11-15
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
Abstract: 本发明涉及气体计测设备技术领域，具体而言，涉及一种气体计测装置。气体计测装置包括传感芯片、封闭管道和杂质集散器；封闭管道的两端分别设有气体入口和气体出口，杂质集散器与传感芯片均安装于封闭管道内，并沿气流方向依次排布；杂质集散器具有若干叶片，叶片绕封闭管道的中心轴线沿周向依次排布，叶片具有翻折部，翻折部与封闭管道的径向截面的夹角为锐角。本发明提供的气体计测装置，能够对洁净度较低的气体进行计测，适应范围较广。
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公开(公告)号：CN111964742B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202010747126.0
申请日：2020-07-29
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
Inventor： 黄立基
IPC: G01F1/86
Abstract: 本发明提供了一种MEMS流量传感芯片及其制造方法和流量传感器，涉及流量测试领域，为解决现有热式质量流量传感芯片容易受到气体组分变化的影响，导致此类流量传感器应用受到限制的问题而设计。该MEMS流量传感芯片包括基体和设置于基体的多个传感元件，多个传感元件包括量热元件、飞行时间感测元件和风速感测元件，基体设置有加热元件，加热元件用于为飞行时间感测元件、量热元件和风速感测元件提供热量，飞行时间感测元件被配置为计量流体的体积流量和流体的热物性值，量热元件和风速感测元件被配置为计量流体的质量流量和流速。本发明提供的MEMS流量传感芯片及流量传感器在测量质量流量过程中可同时测量气体的热物性、流速和体积流量。
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公开(公告)号：CN113932863A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111344395.3
申请日：2021-11-15
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
Abstract: 本发明涉及气体计测设备技术领域，具体而言，涉及一种气体计测装置。气体计测装置包括传感芯片、封闭管道和杂质集散器；封闭管道的两端分别设有气体入口和气体出口，杂质集散器与传感芯片均安装于封闭管道内，并沿气流方向依次排布；杂质集散器具有若干叶片，叶片绕封闭管道的中心轴线沿周向依次排布，叶片具有翻折部，翻折部与封闭管道的径向截面的夹角为锐角。本发明提供的气体计测装置，能够对洁净度较低的气体进行计测，适应范围较广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107796452B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN201711140948.7
申请日：2017-11-16
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
IPC: G01F1/44
Abstract: 一种气体流量计，包括：外壳体、进气管道、整流套、顶盖和连接器，进气管道设置在外壳体的内部，外壳体与进气管道之间的环状部位形成有沿进气管道的轴向延伸的多个回流气道，顶盖与外壳体的上端连接，且顶盖与外壳体、进气管道的端部之间形成安装空间，整流套设置在安装空间内；连接器与外壳体的下端连接；整流套包括一个主流道和与主流道连通的多个分流道，多个分流道与多个回流气道一一对应的设置并连通，主流道与进气管道的出口端连通；多个回流气道中的一个回流气道中设置有流量传感器。本发明可以使用较小的尺寸空间获得较大的流量测量范围，具有较大的量程比。
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公开(公告)号：CN114100708B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202111344435.4
申请日：2021-11-15
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供一种微流体浓度传感芯片及微流体特性测量装置，涉及微流体测控技术领域。其中，该微流体浓度传感芯片，包括基体，基体设置有微加热器和至少两个传感元件，各传感元件与微加热器之间的距离不同，传感元件用于测量流体的热扩散率。该微流体特性测量装置，包括测量主体和的微流体浓度传感芯片，测量主体设置有流体通道，流体通道的通道壁设置有测量腔室，测量腔室与流体通道连通；微流体浓度传感芯片设置于通道壁，且微流体浓度传感芯片的感测表面位于测量腔室内，用于测量流入测量腔室内的流体的热扩散率，热扩散率与待测流体的浓度单调相关。使用该微流体浓度传感芯片能够获得待测流体在整个浓度量程内的浓度，可实现全量程高精度测量。
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公开(公告)号：CN113790846B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111344409.1
申请日：2021-11-15
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
Inventor： 黄立基
Abstract: 本发明提供了一种扩展量程真空测量芯片及其成形方法，涉及真空测量技术领域，包括：基体，基体包括隔热腔；覆盖基体的第一面的第一隔热层，且位于隔热腔上方；设于第一隔热层的第一热敏传感器、第二热敏传感器和热辐射传感器；以及，热电堆传感器，设于基体的第一面，与热辐射传感器间隔设置，且位于热辐射传感器远离第二热敏传感器的一侧。利用热飞行时间原理，通过第一热敏传感器、第二热敏传感器、热辐射传感器和热电堆传感器，根据气体热性质来测量从正压到真空直至高真空的扩展真空范围，该芯片适用于所有扩展量程真空测量，同时，该芯片不受气体组分变化的影响，在真空快速变化时保持其可靠性，并可用于真空泄露的检测。
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公开(公告)号：CN114100708A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111344435.4
申请日：2021-11-15
Applicant: 矽翔微机电系统(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供一种微流体浓度传感芯片及微流体特性测量装置，涉及微流体测控技术领域。其中，该微流体浓度传感芯片，包括基体，基体设置有微加热器和至少两个传感元件，各传感元件与微加热器之间的距离不同，传感元件用于测量流体的热扩散率。该微流体特性测量装置，包括测量主体和的微流体浓度传感芯片，测量主体设置有流体通道，流体通道的通道壁设置有测量腔室，测量腔室与流体通道连通；微流体浓度传感芯片设置于通道壁，且微流体浓度传感芯片的感测表面位于测量腔室内，用于测量流入测量腔室内的流体的热扩散率，热扩散率与待测流体的浓度单调相关。使用该微流体浓度传感芯片能够获得待测流体在整个浓度量程内的浓度，可实现全量程高精度测量。
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公开(公告)号：CN111964742A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010747126.0
申请日：2020-07-29
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
Inventor： 黄立基
IPC: G01F1/86
Abstract: 本发明提供了一种MEMS流量传感芯片及其制造方法和流量传感器，涉及流量测试领域，为解决现有热式质量流量传感芯片容易受到气体组分变化的影响，导致此类流量传感器应用受到限制的问题而设计。该MEMS流量传感芯片包括基体和设置于基体的多个传感元件，多个传感元件包括量热元件、飞行时间感测元件和风速感测元件，基体设置有加热元件，加热元件用于为飞行时间感测元件、量热元件和风速感测元件提供热量，飞行时间感测元件被配置为计量流体的体积流量和流体的热物性值，量热元件和风速感测元件被配置为计量流体的质量流量和流速。本发明提供的MEMS流量传感芯片及流量传感器在测量质量流量过程中可同时测量气体的热物性、流速和体积流量。
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