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公开(公告)号：CN103570225B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201310466661.9
申请日：2013-07-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03C3/04 , B29C33/38 , C03B19/1453 , C03B20/00 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , Y02P40/57
Abstract: 通过使提供硅的原料在氢氧焰中进行火焰水解来制备二氧化硅微细颗粒，将所述二氧化硅微细颗粒沉积在旋转石英玻璃靶上的同时使它们熔融并且玻璃化，从而形成合成石英玻璃锭，成型，退火，并且在至少600℃温度和最多5Pa压力下保持至少12小时进行脱氢处理。该合成石英玻璃具备高氦气渗透性并且适合行成纳米压印模具。
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公开(公告)号：CN108698893A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680082160.2
申请日：2016-12-16
Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司
CPC classification number: C03B37/01211 , C03B5/06 , C03B17/04 , C03B20/00 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03B2207/42 , C03C3/06 , C03C2201/02 , C03C2203/10
Abstract: 本发明涉及一种制备石英玻璃体的方法，其包含方法步骤i.)提供二氧化硅颗粒，ii.)在熔融坩埚中自所述二氧化硅颗粒制造玻璃熔体，和iii.)从至少一部分所述玻璃熔体制造石英玻璃体，其中所述熔融坩埚包含在烘箱中且由包含钨或钼或其组合的至少一种材料制成。本发明进一步涉及一种可通过此方法获得的石英玻璃体。此外，本发明涉及一种光导、一种照明体和一种成型体，其中每一者可通过进一步加工所述石英玻璃体获得。
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公开(公告)号：CN108698882A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680081955.1
申请日：2016-12-16
Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司
CPC classification number: C03B19/066 , C01B33/18 , C01P2004/51 , C01P2004/61 , C01P2006/10 , C01P2006/12 , C01P2006/14 , C03B17/04 , C03B19/106 , C03B19/1065 , C03B19/108 , C03B19/1095 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C13/045 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/26 , C03C2201/32 , C03C2203/44 , C03C2203/54
Abstract: 本发明涉及一种用于制备石英玻璃体的方法，其包含方法步骤i.)提供二氧化硅颗粒，ii.)由所述二氧化硅颗粒制造玻璃熔体和iii.)由所述玻璃熔体的至少一部分制造石英玻璃体，其中所述提供包含步骤I.制造由硅‑氯化合物制备的具有至少两个粒子的二氧化硅粉末，II.使所述二氧化硅粉末与氨接触以获得经处理的二氧化硅粉末，和III.对所述经处理的二氧化硅粉末进行造粒以获得二氧化硅颗粒，并且其中所述二氧化硅粉末的氯含量大于所述二氧化硅颗粒的氯含量。本发明进一步涉及一种可通过此方法获得的石英玻璃体。本发明还涉及一种用于制备二氧化硅颗粒的方法。本发明进一步涉及一种光导、一种照明体和一种成型体，其各自在每种情况中可通过进一步加工所述石英玻璃体获得。
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公开(公告)号：CN108698880A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680081990.3
申请日：2016-12-16
Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司
CPC classification number: C03B19/066 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03C1/022 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/26 , C03C2201/32 , C03C2203/10 , C03C2204/04
Abstract: 本发明涉及一种制备石英玻璃体的方法，其包含方法步骤i.)由热解制造的二氧化硅粉末提供二氧化硅颗粒，ii.)从所述二氧化硅颗粒制造玻璃熔体，iii.)从至少一部分所述玻璃熔体制造石英玻璃体，iv.)减小所述石英玻璃体的尺寸以获得石英玻璃粉粒，v.)加工所述石英玻璃体以制造预成型体和vi.)由所述预成型体制造不透明石英玻璃体。本发明进一步涉及一种可通过此方法获得的不透明石英玻璃体。本发明进一步涉及一种反应器和一种配置，其中的每一种可通过进一步加工所述不透明石英玻璃体获得。
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公开(公告)号：CN105439441B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201510614780.3
申请日：2015-09-24
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107250071A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201580075988.0
申请日：2015-12-09
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B25/02 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/14 , C03B2201/23 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03C3/112 , C03C4/00 , C03C2201/12 , C03C2201/14 , C03C2201/32 , C03C2201/40 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , C03C2203/52
Abstract: 提供了掺杂的二氧化硅‑二氧化钛玻璃制品，其包括具有一种玻璃组合物的玻璃制品，所述玻璃组合物包含(i)二氧化硅‑二氧化钛基础玻璃、(ii)氟掺杂剂和(iii)第二掺杂剂。所述氟掺杂剂的氟浓度最高为5重量％，并且所述第二掺杂剂包含一种或多种氧化物，所述氧化物选自Al氧化物、Nb氧化物、Ta氧化物、B氧化物、Na氧化物、K氧化物、Mg氧化物、Ca氧化物和Li氧化物，总氧化物浓度为50ppm至6重量％。此外，所述玻璃制品的膨胀率斜率为在20℃下小于0.5ppb/K2。所述第二掺杂剂可以是任选的。所述玻璃制品的组成还可以含有小于100ppm的OH浓度。
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公开(公告)号：CN102180595B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201010625211.6
申请日：2010-12-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/2008 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/36 , C03C3/06 , C03C2201/06 , G03F1/24
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低，所述玻璃适合作为EUV光刻部件。
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公开(公告)号：CN101959812B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN200980106891.6
申请日：2009-02-27
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F7/70958 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
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公开(公告)号：CN102583974A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110372600.7
申请日：2011-09-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03B2207/62 , C03B2207/64 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/42
Abstract: 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃：通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气，使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒，在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒，及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。
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公开(公告)号：CN101622204A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200880006392.5
申请日：2008-02-20
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14
CPC classification number: C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/10 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/40 , C03C3/06 , C03C2201/10 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/32 , C03C2201/3411 , C03C2201/3441 , C03C2201/40 , G03F7/70958
Abstract: 提供用于投影物镜的石英玻璃光学部件，该投影物镜用于在低于250nm的操作波长下的浸没式光刻，将该部件优化，以便用于线性偏振的UV激光辐射，特别是关于由各向异性的密度变化引起的压实和双折射，按照本发明建议，石英玻璃应包含1wtppm-60wtppm的羟基和化学键合的氮，且石英玻璃的平均氢含量应该为5×10 15 分子/cm 3 -1×10 17 分子/cm 3 。
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