公开(公告)号：CN105446084A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201410432069.1

申请日：2014-08-28

Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

Inventor： 胡华勇

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/325 ,  C07C51/00 ,  C07C51/14 ,  C07C55/08 ,  C07C55/12 ,  C07C55/14 ,  C07C55/32 ,  C07C59/21 ,  C07C59/295 ,  C07C59/315 ,  C07C59/347 ,  C07C229/24 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/091 ,  G03F7/095 ,  G03F7/11 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种光刻方法，涉及半导体技术领域。本发明的光刻方法包括：步骤S101：在待刻蚀膜层上依次形成正光刻胶层和表面光可分解碱性层；步骤S102：利用掩膜板对所述正光刻胶层进行曝光处理；步骤S103：使用有机溶剂进行负显影处理，溶解去除非曝光区域以形成图形化的光刻胶。该光刻方法通过在曝光工艺之前在正光刻胶层之上形成表面光可分解碱性层，可以避免经负显影处理形成的图形化的光刻胶出现T型顶部缺陷。

公开(公告)号：CN1191226C

公开(公告)日：2005-03-02

申请号：CN00817606.X

申请日：2000-04-20

Applicant: 德弘公司

Inventor： K·欣策 ,  裘再明 ,  G·G·I·穆尔 ,  W·施韦尔特费热 ,  J·F·舒尔茨 ,  A·T·沃尔姆 ,  C·L·格罗斯

IPC: C07C59/315 ,  C07C51/363

CPC classification number: C07C51/363 ,  C07C51/60 ,  C07C59/315

Abstract: 提供了全氟化酰基氟(特别是3-烷氧基丙酰氟)的制备方法。该方法产生高产率的酰基氟。

公开(公告)号：CN102378740A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201080015142.5

申请日：2010-03-24

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 仓光正起 ,  市田卓也

IPC: C02F1/28 ,  B01J20/20 ,  C07C41/36 ,  C07C43/12

CPC classification number: C02F1/283 ,  B01J20/20 ,  B01J20/28004 ,  B01J20/28066 ,  B01J20/3416 ,  B01J20/3475 ,  C02F1/66 ,  C02F2101/36 ,  C02F2209/02 ,  C02F2303/16 ,  C07C51/47 ,  C07C59/315

Abstract: 本发明提供一种通过使用活性炭，不改变具有醚键的氟代羧酸的形态而能够将其高度吸附的吸附工艺、和通过从活性炭中解吸而能够再利用活性炭和吸附物质的解吸工艺。在本发明中，使含有具有醚键的氟代羧酸的液体与活性炭接触，使氟代羧酸吸附在活性炭中，得到氟代羧酸含量低的液体。加热吸附有氟代羧酸的活性炭，将氟代羧酸从活性炭中解吸。

公开(公告)号：CN1726180A

公开(公告)日：2006-01-25

申请号：CN200380105923.3

申请日：2003-10-23

Applicant: 3M创新有限公司

Inventor： M·A·格拉

IPC: C07C51/58 ,  C07C59/315

CPC classification number: C07C303/22 ,  C07C51/58 ,  Y02P20/582 ,  C07C59/135 ,  C07C59/315 ,  C07C309/82

Abstract: 提供一种使六氟环氧丙烷(HFPO)与全氟酰氟X－Rf－COF(II)反应选择性地制造单加成产物X－Rf－CF2－O－CF(CF3)COF(I)的方法。所述单加成产物对双加成产物的选择性为90％或更高，较好为95％或更高。提供一种连续或重复间歇方法，它包括如下步骤：a)提供一种X－Rf－COF(II)、氟化物盐和极性溶剂混合物；b)加入六氟环氧丙烷(HFPO)，加入的量使得以摩尔计X－Rf－COF保持对HFPO至少过量10％，使X－Rf－COF与HFPO反应；c)从六氟环氧丙烷(HFPO)和X－Rf－COF的加成产物的混合物中分离未反应的X－Rf－COF；d)用步骤c)中分离得到的未反应的X－Rf－COF重复进行步骤a)。

公开(公告)号：CN103896359A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201410104262.2

申请日：2010-03-24

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 仓光正起 ,  市田卓也

IPC: C02F1/28 ,  B01J20/20 ,  B01J20/28 ,  C07C59/135 ,  C07C51/47

CPC classification number: C02F1/283 ,  B01J20/20 ,  B01J20/28004 ,  B01J20/28066 ,  B01J20/3416 ,  B01J20/3475 ,  C02F1/66 ,  C02F2101/36 ,  C02F2209/02 ,  C02F2303/16 ,  C07C51/47 ,  C07C59/315

Abstract: 本发明提供一种氟代羧酸的吸附方法，其中，通过使含有具有醚键的氟代羧酸的液体与活性炭接触，使氟代羧酸吸附在活性炭中，使用具有通过酸调整pH而提高的吸附性能的活性炭。

公开(公告)号：CN103270021A

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201180062018.9

申请日：2011-11-26

Applicant: 默克专利有限公司

Inventor： E·克劳斯 ,  M·科莱内达姆 ,  W·希尔泽

IPC: C07C309/17 ,  C11D1/12

CPC classification number: C07C59/315 ,  C07C309/17 ,  C08K5/42 ,  C09D7/45 ,  C09D7/63 ,  C09D11/00 ,  C11D1/004

Abstract: 本发明涉及含有Rf端基的新化合物，其作为表面活性物质的用途，和这些化合物的制备方法。要求保护的化合物属于下式：(I)。要求保护的化合物的两个实例为(II)、(III)。

公开(公告)号：CN1413183A

公开(公告)日：2003-04-23

申请号：CN00817606.X

申请日：2000-04-20

Applicant: 德弘公司

Inventor： K·欣策 ,  裘再明 ,  G·G·I·穆尔 ,  W·施韦尔特费热 ,  J·F·舒尔茨 ,  A·T·沃尔姆 ,  C·L·格罗斯

IPC: C07C59/315 ,  C07C51/363

CPC classification number: C07C51/363 ,  C07C51/60 ,  C07C59/315

Abstract: 提供了全氟化酰基氟(特别是3－烷氧基丙酰氟)的制备方法。该方法产生高产率的酰基氟。

公开(公告)号：CN102378740B

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201080015142.5

申请日：2010-03-24

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 仓光正起 ,  市田卓也

IPC: C02F1/28 ,  B01J20/20 ,  C07C41/36 ,  C07C43/12

CPC classification number: C02F1/283 ,  B01J20/20 ,  B01J20/28004 ,  B01J20/28066 ,  B01J20/3416 ,  B01J20/3475 ,  C02F1/66 ,  C02F2101/36 ,  C02F2209/02 ,  C02F2303/16 ,  C07C51/47 ,  C07C59/315

Abstract: 本发明提供一种通过使用活性炭，不改变具有醚键的氟代羧酸的形态而能够将其高度吸附的吸附工艺、和通过从活性炭中解吸而能够再利用活性炭和吸附物质的解吸工艺。在本发明中，使含有具有醚键的氟代羧酸的液体与活性炭接触，使氟代羧酸吸附在活性炭中，得到氟代羧酸含量低的液体。加热吸附有氟代羧酸的活性炭，将氟代羧酸从活性炭中解吸。

公开(公告)号：CN101312943B

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN200680043338.9

申请日：2006-11-21

Applicant: 3M创新有限公司

Inventor： 赫伯特·科尼希斯曼 ,  蒂尔曼·C·齐普莱斯 ,  哈拉尔德·卡斯帕 ,  迈克尔·尤尔根斯 ,  凯·H·洛哈斯 ,  安德烈亚斯·R·毛雷尔 ,  克劳斯·欣策 ,  理查德·M·弗林

IPC: C07C309/07 ,  C07C309/02

CPC classification number: C07C51/367 ,  C07C51/412 ,  C07C59/315 ,  C08L27/12 ,  C08L71/02 ,  C09D127/12 ,  C08L2666/22

Abstract: 本发明提供一种由以下通式表示的氟化表面活性剂：[Rf(O)t-CQH-CF2-O]n-R-G，其中Rf表示部分氟化或完全氟化的脂族基团，该基团可任选地间杂有一个或多个氧原子，Q为CF3或F，R为脂族或芳族烃基，G表示羧酸或磺酸或它们的盐，t为0或1，并且n为1、2或3。所述表面活性剂尤其可用于使氟化单体以水乳液聚合反应方式聚合。

公开(公告)号：CN1182415A

公开(公告)日：1998-05-20

申请号：CN96193500.6

申请日：1996-02-05

Applicant: 沃尼尔·朗伯公司

Inventor： C·L·比斯盖尔 ,  P·L·克里杰 ,  A·R·萨尔蒂尔 ,  S·R·塔福里

IPC: C07C59/305 ,  C07C59/353 ,  C07C59/315 ,  C07C47/19 ,  C07C47/198 ,  C07D257/04 ,  A61K31/19

CPC classification number: C07D257/04 ,  C07C47/277 ,  C07C47/37 ,  C07C59/305 ,  C07C59/315 ,  C07C59/353 ,  C07C69/708

Abstract: 含有末端羧基或四唑基的二烃基醚降低Lp(a)和甘油三酯,并提高HDL－胆固醇,并且因此用于治疗血管疾病和非胰岛素依赖性糖尿病。