公开(公告)号：CN108691787A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810201907.2

申请日：2018-03-12

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 久野智司

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/52 ,  F04D29/64

CPC classification number: F04D19/042 ,  F04D19/044 ,  F04D19/048 ,  F04D29/083 ,  F04D29/644 ,  F16C32/0442 ,  F16C32/0444 ,  F16C2360/45 ,  F04D29/522

Abstract: 本发明涉及一种真空泵，可减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。本发明的构造是在从涡轮排气部(TP)导入气体的螺杆槽排气部(SP)的导入路径中，通过带六角孔的螺栓(40)将螺杆定子(22)固定于基座(20)的上表面(20c)，所述带六角孔的螺栓(40)是头部的高度比符合使用国或国际组织的规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。本发明的真空泵能够减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。

公开(公告)号：CN104747466B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201410787893.9

申请日：2014-12-17

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 坪川彻也

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/52 ,  F04D29/32

CPC classification number: F04D19/044 ,  F04D19/046 ,  F04D29/083

Abstract: 本发明提供一种真空泵，防止螺纹槽排气部与转子固着，并且螺纹槽排气部不会使排气性能变差，所述螺纹槽排气部用于防止气体流向转子的内周侧。在与泵转子(4)稳定旋转时的转子圆筒部(8)相向的基座(50)的内部底面(50a)的位置上，利用螺钉固定有螺纹槽排气部(70)。螺纹槽排气部(70)的外径优选的是设定成等于泵转子(4)稳定旋转时的转子圆筒部(8)的外径。根据本发明，可提供一种真空泵，防止螺纹槽排气部与转子固着，并且螺纹槽排气部不会使排气性能变差。

公开(公告)号：CN103477082B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201280017886.X

申请日：2012-04-02

Applicant: 埃地沃兹日本有限公司

Inventor： 桦泽刚志

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D29/526 ,  F04D19/044 ,  F04D19/046 ,  F04D27/0292 ,  F04D29/32 ,  F04D29/321

Abstract: 提供一种真空泵及其转子，不会导致泵内部的耐腐蚀性恶化及泵构造的复杂化，能够将设在旋转的圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间的间隙设定在最小限度，谋求该间隙的最小限度化而实现的泵性能的提高。真空泵（P1）的转子（6）具备被驱动而旋转的圆形部件（60）和与其外周接合的圆筒部件（62），并且在圆筒部件（62）与包围在其外周的固定部件（18）之间形成螺纹泵流路（S）。圆筒部件（62）是，由具有热膨胀比圆形部件（60）小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成。使圆筒部件（32）上的非接合部（N）与固定部件（18）之间的第2区域的间隙（δ2）小于圆筒部件（62）上的接合部（J）与固定部件（18）之间的第1区域的间隙（δ1）。

公开(公告)号：CN102667169B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201080053910.6

申请日：2010-10-19

Applicant: 埃地沃兹日本有限公司

Inventor： 三轮田透 ,  坂口祐幸 ,  大立好伸 ,  前岛靖 ,  高阿田勉

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D29/644 ,  F04D19/044 ,  F04D29/541

Abstract: 一种螺纹槽排气泵部的筒形固定部件，在维持真空泵对于毁坏力矩的强度的同时降低其成本，并且容易在螺纹槽排气部的筒形固定部件上制作出在螺纹槽排气部的旋转部件的旋转轴心方向上宽度、深度、导程角等发生变化的形状复杂的螺纹槽，通过采用上述螺纹槽来提升真空泵整体的排气性能和压缩性能。螺纹槽排气部(Ps)的筒形固定部件(螺纹槽排气部定子(18))配置成包围螺纹槽排气部(Ps)的旋转部件(转子(6)的大致下半部分)的状态，从而与旋转部件之间形成用于排出气体的螺旋状的螺纹槽排气通道(S)。这种筒形固定部件在旋转部件的旋转轴心方向上被分割成2个以上的分割件(18A、18B)，通过螺栓等连结方式或热压等接合方式将这些分割件连结成一体。

公开(公告)号：CN105358835A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480040478.5

申请日：2014-06-06

Applicant: 埃地沃兹日本有限公司

Inventor： 坂口祐幸

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D29/5853 ,  F04D19/00 ,  F04D19/04 ,  F04D19/044 ,  F04D29/384 ,  F04D29/544 ,  F04D29/584 ,  F04D29/644 ,  F05D2260/607

Abstract: 提供能够不受到排出的气体流量的影响而只对出于防止生成物堆积的观点需要高温化的排气侧气体流路的固定零件集中地效率良好地加热、防止该加热所导致的排气侧气体流路上的生成物的堆积、以及谋求泵排气性能的提高的真空泵。真空泵具有可旋转地配置于泵座上的转子和将通过转子的旋转而吸入的气体引导至排气口的气体流路，而且，具备将构成气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和对这样绝热的固定零件加热的加热机构。

公开(公告)号：CN104343699A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410361083.7

申请日：2014-07-25

Applicant: 普发真空有限公司

Inventor： 米尔科·马科塔 ,  扬·霍夫曼 ,  乌韦·莱布 ,  米夏埃尔·席尔 ,  伯恩哈德·科赫

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/00

CPC classification number: F04D25/02 ,  F04D19/044 ,  F04D19/046 ,  F04D25/06 ,  F04D25/082 ,  F04D29/522 ,  F04D29/5806 ,  H02K1/20

Abstract: 本发明涉及真空泵，一种真空泵，具有泵入口、泵出口、可绕旋转轴旋转的转子、至少一个工艺气体泵级、马达空间和驱动马达，工艺气体泵级用于将泵入口处的工艺气体从泵入口传输到泵出口，驱动马达设置在马达空间中，驱动马达用于转动地驱动转子，并且包括马达定子，提供至少一个用于工艺气体的气体路径，所述气体路径为从所述泵入口到所述泵出口，所述气体路径通过马达空间，并且至少部分地沿所述马达定子或通过马达定子。

公开(公告)号：CN102834620A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201180019692.9

申请日：2011-07-21

Applicant: 埃地沃兹日本有限公司

Inventor： 大立好伸 ,  前岛靖 ,  高阿田勉

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D19/042 ,  F04D1/00 ,  F04D19/044 ,  F04D29/023 ,  F04D29/058 ,  F04D29/32 ,  F04D29/644 ,  F05D2230/10

Abstract: 提供一种适合于实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性、及排气性能的提高的排气泵。排气泵具备筒形旋转部件（6）、筒形旋转部件（6）的支承机构、旋转驱动筒形旋转部件（6）的驱动机构、对包围筒形旋转部件（6）的外周成包围之状而配置的外侧筒形固定部件、被筒形旋转部件（6）的内周成被包围之状而配置的内侧筒形固定部件、设在筒形旋转部件（6）与外侧筒形固定部件之间的螺旋状的外侧螺纹槽排气通路、设在筒形旋转部件（6）与内侧筒形固定部件之间的螺旋状的内侧螺纹槽排气通路、和开设在筒形旋转部件（6）上、将存在于筒形旋转部件（6）的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路的连通开口部（H）；设在比连通开口部（H）还要上游的筒形旋转部件（6）的外周上的最下段的旋转翼（13E）与连通开口部（H）上游端之间的间隙是在该间隙中用来开设连通开口部（H）的工具能够插入的尺寸以上。

公开(公告)号：CN102725535A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN201180008162.4

申请日：2011-05-20

Applicant: 埃地沃兹日本有限公司

Inventor： 桦泽刚志

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D19/042 ,  F04D17/168 ,  F04D19/044 ,  F04D29/023 ,  F05D2230/14 ,  F05D2230/18 ,  F05D2230/90 ,  F05D2260/37 ,  F05D2300/121 ,  F05D2300/43 ,  F05D2300/516 ,  F05D2300/603 ,  F05D2300/6034

Abstract: 提供一种即使在将纤维强化塑料材料成形为圆筒形而使用圆筒转子的情况下、也可以在圆筒转子的成形后不进行精加工的真空泵。在具有涡轮分子泵部（14）和螺纹槽泵部（15）、在涡轮分子泵部（14）的转子（17）的下端部接合着螺纹槽泵部（15）的将纤维强化塑料材料成形为圆筒形而成的圆筒转子（21）的上端部的真空泵中，将涡轮分子泵部（14）的转子（17）和螺纹槽泵部（15）的圆筒转子（21）的接合部分设置在排气路径（24）的上游侧。由此，在圆筒转子（21）的成形后也可以不进行精加工。另外，在圆筒转子（21）的成形后进行精加工的情况下，也可以在圆筒转子（21）的凹凸部分上涂层树脂、或使卷绕角为45度以下而将纤维卷绕为螺旋状。

公开(公告)号：CN100458171C

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200580032950.1

申请日：2005-09-21

Applicant: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司

Inventor： 拉尔夫·阿达米茨 ,  罗兰·布卢门塔尔 ,  迪尔克·卡利施

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/52 ,  F04D29/40

CPC classification number: F04D19/044 ,  F04D29/644

Abstract: 一种真空泵(10)包括：构成无叶片的泵定子(30)的壳体(12)、转子驱动器和可转动地支撑具有叶片(18)的泵转子(16)的转子支架。壳体(12)环绕着泵转子(16)、转子驱动器和转子支架的整个轴向长度。根据现有技术的壳体由多部件构成并且因此在壳体部件之间具有密封件。这些密封件不易涂敷并且将成为或者变成为发生泄漏的地方。与之相反，根据本发明的壳体(12)是单件结构的，因此在任何情况下壳体(12)的与真空气体相接触的区域是不用密封件的。

公开(公告)号：CN101124409A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200480026896.5

申请日：2004-09-23

Applicant: 英国氧气集团有限公司

Inventor： I·D·斯通斯 ,  N·P·肖菲尔德 ,  M·N·斯图尔特

IPC: F04D19/04 ,  F04D17/16

CPC classification number: F04D19/042 ,  F04D17/168 ,  F04D19/044 ,  F04D19/046 ,  F04D23/008 ,  H01J49/24

Abstract: 一种差动地泵吸的质谱计系统，包括一台有多个压力室的质谱计、一个附接于其上的真空泵和一个连接于该泵出口的前级泵；该真空泵包括至少三个泵入口、一第一泵吸区、一在第一泵吸区下游的第二泵吸区、一在第二泵吸区下游的第三泵吸区、一个从一压力相当小的第一压力室来的出口、一个用于该质谱计的压力中等的第二压力室的出口和一个用于该质谱计的压力最高的第三压力室的出口；该第一压力室连接在第一泵入口上，通过该第一泵入口的流体能从第一室进入该泵而向着一个泵出口通过第一、第二、第三泵吸区，该第二压力室连接在第二泵入口上，通过该第二泵入口的流体能进入该泵而在所述各区中只朝该泵出口的方向只通过第二和第三泵吸区，该第三压力室连接在第三泵入口上，通过该第三泵入口的流体能进入该泵而在所述各区中朝该泵出口的方向只通过第三泵吸区的至少一部分；该前级泵使得在使用中从质谱计泵吸的流体质量的至少99％通过该真空泵和前级泵而抽走。