ArF准分子激光光场能量均匀性检测的能量探测器设计方法

    公开(公告)号:CN107941331A

    公开(公告)日:2018-04-20

    申请号:CN201711443199.5

    申请日:2017-12-27

    Applicant: 四川大学

    Inventor: 曹益平

    CPC classification number: G01J1/4228 G01J1/429 G01J2001/4238 G03F7/7085

    Abstract: 本发明公开了一种针对投影式光刻系统中的脉冲激光光场能量均匀性测试的装置和方法。本发明使用的是探针步进扫描法,使用两个紫外传感器分别检测脉冲激光与自然光中的紫外光。紫外传感器采集到信号后,依次进行I/V转换,前置放大,差分相减,消除掉自然光中紫外成分的干扰后再进行积分处理,通过计数和同步控制逻辑对一定个数脉冲激光的能量实现的周期性探测,每个周期的能量在经过AD转换后将信号传递给单片机,同时通过单片机与PC相连,可以使用PC来对信号进行后续的分析。本发明是一个能量探测器系统,具有很高的精度和可控性。

    一种无脉冲展宽积分球探测器

    公开(公告)号:CN107748006A

    公开(公告)日:2018-03-02

    申请号:CN201710977347.5

    申请日:2017-10-19

    Applicant: 陆耀东

    CPC classification number: G01J1/42 G01J2001/4238

    Abstract: 本发明公布了一种无脉冲展宽积分球探测器,该积分球探测器由入光孔、由前半球壳、后半球壳、高漫反涂层、吸光涂层、光电传感器、前置电路、加法电路和信号输出接口组成。采用该结构的积分球探测器可以对脉冲宽度为纳秒级以下的窄脉冲、大发散角激光进行衰减和匀化,并可保持原始脉冲波形不变,从而达到对大发散角、窄脉冲激光光束的有效收集、接收,获得与入射光参数成线性比例关系的信号的目的。该积分球探测器可用于对入射激光功率/能量衰减,实现激光功率、峰值功率、能量、波形和光谱参数的精确采样测量,也可用于其它需要保持原波形特性的光强度控制。

    基于法布里珀罗腔干涉测量脉冲激光能量传感器及脉冲光能量测量方法

    公开(公告)号:CN107192449A

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201710278442.6

    申请日:2017-04-25

    CPC classification number: G01J1/42 G01J2001/4238

    Abstract: 本发明提供的是一种基于法布里珀罗腔干涉测量脉冲激光能量传感器及脉冲光能量测量方法。首先,可调谐激光光源发出波长线性变化的信号光通过单模光纤接入到干涉腔中,从单模光纤发出的光被镀有银的铝制薄片反射并与入射信号光发生干涉,干涉光信号通过单模光纤导入到光谱仪中进行信号检测;其次,被检测的脉冲激光通过光纤准值镜耦合到单模光纤中,脉冲激光从光纤尖端射出时会产生力学效应,铝片在脉冲冲击力作用下发生形变而压缩干涉腔的长度;最后通过光谱仪得到的干涉吸收峰与初始条件下的峰值位置进行对比分析,确定被检测脉冲激光的能量。本测量装置具有制备工艺简单、结构尺寸小、稳定性好、测量精度高等优点。

    光传感器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104205027B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201280071632.6

    申请日:2012-10-18

    Abstract: 本发明提供一种光传感器。在基板(2)的表面(2A)设置有3个发光元件(3)~(5)和1个感光元件(6)。感光元件(6)配置于连结3个发光元件三角形区域(TA1)相接的长方形(RA1)。从3个发光元件(3)~(5)射出的光束的光轴(V1)~(V3)和假定的XY平面(Sxy)的交点垂直地投影到基板(2)的表面(2A)时形成三角形(TA0),形成与该三角形(TA0)相接的长方形(RA0)。对从3个发光元件(3)~(5)射出的光的方向进行设定,以使得长方形(RA0)的纵向和横向尺寸(X0)、(Y0)与长方形(RA1)的纵向和横向尺寸(X1)、(Y1)相比,纵向和横向中至少有一个方向的尺寸较大。(3)~(5)的三角形区域(TA1)的范围内。形成与

    基于脉冲的感测
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105953822B

    公开(公告)日:2018-06-12

    申请号:CN201610133749.2

    申请日:2016-03-09

    Abstract: 本发明披露了一种基于脉冲的感测。所公开的主题包括传感器管理部件(SMC),该SMC便于准确地确定传感器的期望开关状态并且控制传感器的开关状态以减少不希望的环境噪声影响。SMC对从传感器的发送器发送的信号的预脉冲、脉冲和后脉冲进行采样;基于预脉冲样本的水平和后脉冲样本的水平来确定与信号相关联的环境噪声的水平;以及根据脉冲水平以及预脉冲的水平和后脉冲的水平来确定脉冲幅度以便于确定传感器的准确状态。SMC可以基于所接收到的好脉冲的数目来确定传感器在给定时间处要处于的状态。SMC可以采用线性滤波器或非线性滤波器以移除尖峰或随机噪声,以便于确定传感器的准确状态。

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