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公开(公告)号:CN1455217A
公开(公告)日:2003-11-12
申请号:CN03136767.4
申请日:2003-04-29
Applicant: 日本碍子株式会社 , 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J9/265 , H01J2217/491
Abstract: 一种用于等离子体显示板的烘焙系统,包括清洁室(1)和烘焙炉,该烘焙炉具有上通道(11)和下通道(13),该上通道(11)用于在烘焙的时候从烘焙炉(3)的入口(15)运送等离子体显示板玻璃衬底(5),该下通道(13)用于向着炉(3)的出口运送在上通道(11)中烘焙了的衬底(5),入口和出口都位于炉(3)相同的端部,其特征在于只有入口(15)和出口(17)连接到清洁室(1),而其炉体保持在清洁室(1)外部。还披露了用于这种烘焙系统的布局方法。
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公开(公告)号:CN100387921C
公开(公告)日:2008-05-14
申请号:CN03136767.4
申请日:2003-04-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J9/265 , H01J2217/491
Abstract: 一种用于等离子体显示板的烘焙系统,包括清洁室(1)和烘焙炉,该烘焙炉具有上通道(11)和下通道(13),该上通道(11)用于在烘焙的时候从烘焙炉(3)的入口(15)运送等离子体显示板玻璃衬底(5),该下通道(13)用于向着炉(3)的出口运送在上通道(11)中烘焙了的衬底(5),入口和出口都位于炉(3)相同的端部,其特征在于只有入口(15)和出口(17)连接到清洁室(1),而其炉体保持在清洁室(1)外部。还披露了用于这种烘焙系统的布局方法。
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