蓝宝石单晶芯及其制造方法

    公开(公告)号:CN104981561A

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:CN201480006264.6

    申请日:2014-02-07

    CPC classification number: C30B15/22 C30B29/20 Y10T428/29

    Abstract: 蓝宝石单晶芯,其特征在于,轴方向为r轴,长度为200mm以上,直径为150mm以上,而且不含气泡,以及用于制造上述蓝宝石单晶芯的方法,其特征在于,包括:采用提拉法使蓝宝石单晶在r轴方向上生长而得到蓝宝石锭的工序、和从上述蓝宝石锭将芯切出的工序,其中,采用上述提拉法形成锭的肩部时,控制上述肩部的形成速度以使上述肩部中的、相对于水平面的角度为10~30°的区域的培育方向长度成为10mm以下。

Patent Agency Ranking