公开(公告)号：US20160181041A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：US14977488

申请日：2015-12-21

Applicant: DELFMEMS SAS

Inventor： Anne-Sophie Rollier ,  Antoine Bonnabel ,  Karim Segueni

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  H01H49/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  B81C2201/013 ,  H01H49/00 ,  H01H2059/0027 ,  H01H2059/0036 ,  H01H2227/004

Abstract: The present invention relates to a method of manufacturing an MEMS device that comprises the steps of forming a first membrane layer over a sacrificial base layer, forming a second membrane layer over the first membrane layer, wherein the second membrane layer comprises lateral recesses exposing lateral portions of the first membrane layer and forming stoppers to restrict movement of the first membrane layer. Moreover, it is provided MEMS device comprising a movable membrane comprising a first membrane layer and a second membrane layer formed over the first membrane layer, wherein the second membrane layer comprises lateral recesses exposing lateral portions of the first membrane layer.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造MEMS器件的方法，该方法包括以下步骤：在牺牲基底层上形成第一膜层，在第一膜层上形成第二膜层，其中第二膜层包括暴露侧向部分 的第一膜层并形成止挡件以限制第一膜层的运动。 此外，提供了包括可移动膜的MEMS装置，其包括形成在第一膜层上的第一膜层和第二膜层，其中第二膜层包括暴露第一膜层侧向部分的侧向凹部。