公开(公告)号：US3476620A

公开(公告)日：1969-11-04

申请号：US3476620D

申请日：1968-10-10

Applicant: TRW SEMICONDUCTORS INC

Inventor： CRISHAL JOAN M ,  SANDSTROM JAMES P

IPC: C23C16/40 ,  C30B31/06 ,  H01L21/225 ,  H01L21/316 ,  H01L23/485 ,  H01L7/34 ,  H01L1/10

CPC classification number: H01L21/31625 ,  C23C16/401 ,  C30B29/06 ,  C30B31/06 ,  H01L21/02129 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/02362 ,  H01L21/2255 ,  H01L23/485 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：US3244567A

公开(公告)日：1966-04-05

申请号：US22228862

申请日：1962-09-10

Applicant: TRW SEMICONDUCTORS INC

Inventor： CRISHAL JOAN M ,  LA CHAPELLE THEODORE J ,  WILCOX WILLIAM R ,  SANDSTROM JAMES P

IPC: C30B31/06 ,  H01L21/00

CPC classification number: C30B31/06 ,  H01L21/00 ,  Y10S252/951