Invention Grant
- Patent Title: 三维测量装置
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Application No.: CN201680005622.0Application Date: 2016-05-16
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Publication No.: CN107110640BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 石垣裕之 , 间宫高弘
- Applicant: CKD株式会社
- Applicant Address: 日本爱知县
- Assignee: CKD株式会社
- Current Assignee: CKD株式会社
- Current Assignee Address: 日本爱知县
- Agency: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- Agent 刘军
- Priority: 2015-105495 2015.05.25 JP
- International Application: PCT/JP2016/064465 2016.05.16
- International Announcement: WO2016/190151 JA 2016.12.01
- Date entered country: 2017-07-12
- Main IPC: G01B11/24
- IPC: G01B11/24 ; G01B9/02

Abstract:
提供一种三维测量装置,能够利用波长不同的两种光扩大测量范围,并且提高测量効率。三维测量装置(1)包括:偏振分光器(20),能够将入射的预定的光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光,将一者作为测量光照射至工件(W)且将另一者作为参照光照射至参照面(23),并且将它们再次合成而射出;第一投光系统(2A),使具有第一波长的第一光入射至该偏振分光器(20)的第一面(20a);第二投光系统(2B),使具有第二波长的第二光入射至偏振分光器(20)的第二面(20b);第一拍摄系统(4A),能够拍摄从偏振分光器(20)的第二面(20b)射出的所述第一光;以及第二拍摄系统(4B),能够拍摄从偏振分光器(20)的第一面(20a)射出的所述第二光。
Public/Granted literature
- CN107110640A 三维测量装置 Public/Granted day:2017-08-29
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