Invention Grant

三维测量装置
Abstract:
提供一种三维测量装置,能够利用波长不同的两种光扩大测量范围,并且提高测量効率。三维测量装置(1)包括:偏振分光器(20),能够将入射的预定的光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光,将一者作为测量光照射至工件(W)且将另一者作为参照光照射至参照面(23),并且将它们再次合成而射出;第一投光系统(2A),使具有第一波长的第一光入射至该偏振分光器(20)的第一面(20a);第二投光系统(2B),使具有第二波长的第二光入射至偏振分光器(20)的第二面(20b);第一拍摄系统(4A),能够拍摄从偏振分光器(20)的第二面(20b)射出的所述第一光;以及第二拍摄系统(4B),能够拍摄从偏振分光器(20)的第一面(20a)射出的所述第二光。
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