Invention Grant
- Patent Title: 半导体器件和在半导体管芯周围形成绝缘层的方法
-
Application No.: CN201710102855.9Application Date: 2017-02-24
-
Publication No.: CN107134438BPublication Date: 2019-06-18
- Inventor: S.金努萨米 , K.辛普森 , M.C.科斯特罗
- Applicant: 商升特公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 商升特公司
- Current Assignee: 商升特公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 申屠伟进; 陈岚
- Priority: 15/055264 2016.02.26 US
- Main IPC: H01L23/31
- IPC: H01L23/31 ; H01L21/56

Abstract:
本发明涉及半导体器件和在半导体管芯周围形成绝缘层的方法。一种半导体器件具有半导体晶片,该半导体晶片包括在该半导体晶片的第一表面上方形成的多个接触焊盘和多个半导体管芯。部分地穿过半导体晶片的第一表面形成沟槽。将绝缘材料设置在半导体晶片的第一表面上方和到沟槽中。在接触焊盘上方形成导电层。该导电层可以被印刷成在相邻的接触焊盘之间的沟槽中的绝缘材料上方延伸。将半导体晶片的与半导体晶片的第一表面相对的一部分移除,到沟槽中的绝缘材料。在半导体晶片的第二表面和半导体晶片的侧表面上方形成绝缘层。穿过第一沟槽中的绝缘材料而单体化半导体晶片,以分离半导体管芯。
Public/Granted literature
- CN107134438A 半导体器件和在半导体管芯周围形成绝缘层的方法 Public/Granted day:2017-09-05
Information query
IPC分类: