Invention Publication
CN108330458A 一种Zn原位掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种Zn原位掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法
- Patent Title (English): Zn in-situ doping P type hexagonal boron nitride film and preparation method thereof
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Application No.: CN201810112003.2Application Date: 2018-02-05
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Publication No.: CN108330458APublication Date: 2018-07-27
- Inventor: 陈占国 , 王鑫 , 侯丽新 , 刘秀环 , 全海燕 , 王帅 , 高延军 , 贾刚
- Applicant: 吉林大学
- Applicant Address: 吉林省长春市前进大街2699号
- Assignee: 吉林大学
- Current Assignee: 吉林大学
- Current Assignee Address: 吉林省长春市前进大街2699号
- Agency: 长春吉大专利代理有限责任公司
- Agent 刘世纯; 王恩远
- Main IPC: C23C14/35
- IPC: C23C14/35 ; C23C14/06

Abstract:
一种Zn原位掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法,属于半导体材料制备和半导体掺杂技术领域。其是将高纯的hBN靶、高纯Zn靶和清洗后的衬底放入磁控溅射生长室内,采用射频磁控双靶共溅射技术,在hBN薄膜生长过程中原位掺入Zn杂质,生长结束后,在N2气氛下对薄膜进行原位退火,并在N2气保护下冷却至室温,从而在衬底上得到Zn原位掺杂的P型hBN薄膜。本发明方法简单,成本低廉,安全可靠,无毒无害;可以通过调节Zn靶的靶距和溅射功率来控制掺杂浓度;Zn在hBN薄膜中易于占据B原子的格点位,作为替位式杂质具有较低的形成能和较小的杂质激活能,因而能够获得电阻率较低的Zn掺杂P型hBN薄膜,且性能稳定。
Public/Granted literature
- CN108330458B 一种Zn原位掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法 Public/Granted day:2019-10-11
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