一种Zn原位掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法
Abstract:
一种Zn原位掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法,属于半导体材料制备和半导体掺杂技术领域。其是将高纯的hBN靶、高纯Zn靶和清洗后的衬底放入磁控溅射生长室内,采用射频磁控双靶共溅射技术,在hBN薄膜生长过程中原位掺入Zn杂质,生长结束后,在N2气氛下对薄膜进行原位退火,并在N2气保护下冷却至室温,从而在衬底上得到Zn原位掺杂的P型hBN薄膜。本发明方法简单,成本低廉,安全可靠,无毒无害;可以通过调节Zn靶的靶距和溅射功率来控制掺杂浓度;Zn在hBN薄膜中易于占据B原子的格点位,作为替位式杂质具有较低的形成能和较小的杂质激活能,因而能够获得电阻率较低的Zn掺杂P型hBN薄膜,且性能稳定。
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