Invention Publication
- Patent Title: 一种多芯片层叠扇出型封装结构及其制造方法
- Patent Title (English): Multi-chip stacked fan-out packaging structure and manufacture method thereof
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Application No.: CN201811541739.8Application Date: 2018-12-17
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Publication No.: CN109638009APublication Date: 2019-04-16
- Inventor: 刘道祥
- Applicant: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- Applicant Address: 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- Assignee: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- Current Assignee: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- Agency: 上海智晟知识产权代理事务所
- Agent 张东梅
- Main IPC: H01L25/16
- IPC: H01L25/16 ; H01L21/56 ; H01L21/768 ; H01L23/488 ; H01L23/31 ; H01L21/60 ; H01L23/48

Abstract:
本发明公开了多芯片层叠扇出型封装结构,包括:第一芯片;第二芯片;一个或多个铜柱;包覆第一芯片、第二芯片和铜柱的塑封层;第一金属层,电连接至第一芯片和/或一个或多个铜柱的第一端;第一钝化层,覆盖第一金属层的表面和间隙;第二金属层电连接至第一金属层;第三金属层,第三金属层电连接至第二芯片和/或一个或多个铜柱的第二端;第二钝化层,覆盖第三金属层的表面和间隙;第四金属层,电连接至第三金属层;第三钝化层,覆盖第四金属层的表面和间隙;第五金属层,电连接至第四金属层;第四钝化层,覆盖第五金属层的表面和间隙;以及外接焊球,电连接至第五金属层。
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