一种多芯片层叠扇出型封装结构及其制造方法
Abstract:
本发明公开了多芯片层叠扇出型封装结构,包括:第一芯片;第二芯片;一个或多个铜柱;包覆第一芯片、第二芯片和铜柱的塑封层;第一金属层,电连接至第一芯片和/或一个或多个铜柱的第一端;第一钝化层,覆盖第一金属层的表面和间隙;第二金属层电连接至第一金属层;第三金属层,第三金属层电连接至第二芯片和/或一个或多个铜柱的第二端;第二钝化层,覆盖第三金属层的表面和间隙;第四金属层,电连接至第三金属层;第三钝化层,覆盖第四金属层的表面和间隙;第五金属层,电连接至第四金属层;第四钝化层,覆盖第五金属层的表面和间隙;以及外接焊球,电连接至第五金属层。
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